半导体清洗设备

1、万业企业：进军半导体设备 证券研究报告（首次覆盖） 2020年1月17日 方正科技首席分析师： 陈杭 S1220519110008 方正科技半导体分析师：范云浩S1220519120001 核心观点核心观点 从房地产业务转型半导体装备领域从房地产业务转型半导体装备领域。
万业企业以房地产业务起家，近年由于房地产调控政策收紧，行业整体供过于求， 公司积极谋求业务转型。
2018年底在集成电路。

2、证券研究报告 2020年2月15日 芯片国产化系列三芯片国产化系列三 半导体材料行业研究框架总论半导体材料行业研究框架总论 半导体景气开启设备先行材料接力半导体景气开启设备先行材料接力 方正科技组首席分析师陈杭： S1220519110008 方正科技团队分析师范云浩： S1220519120001 中国半导体材料中国半导体材料A A股投资地图股投资地图 图。

3、机械设备机械设备 1 / 66 机械设备机械设备 2020 年 03 月 12 日 投资评级：投资评级：看好看好（首次首次） 行业走势图行业走势图 数据来源：贝格数据 半导体设备系列半导体设备系列专题专题报告报告之一之一:半导体设备详解半导体设备详解 产业转移与国家力量赋能国产化加速推进产业转移与国家力量赋能国产化加速推进 行业深度报告行业深度报告 段小虎（分析师）段小虎（分。

4、 请务必阅读正文之后的免责条款部分 全球视野全球视野 本土智慧本土智慧 行业行业研究研究 Page 1 证券研究报告证券研究报告深度报告深度报告 电子元器件电子元器件 半导体专题研究系列八半导体专题研究系列八 超配超配 2020 年年 02 月月 10 日日 一年该行业与一年该行业与上证综指上证综指走势比较走势比较 行业专题行业专题 正在崛起的正在崛起的中国中国半导体半导体设备设备。

5、 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 1 / 4343 Table_Page 行业专题研究|机械设备 2020 年 5 月 21 日 证券研究报告 半导体设备系列研究十四半导体设备系列研究十四 半导体半导体 ATE：国产装备向中高端进阶，细分领域多点开花：国产装备向中高端进阶，细分领域多点开花 分析师：分析师： 周静 分析师：分析师： 罗立波 分析师：分析师：。

6、 Table_Title 半导体设备之封装设备,国产化率亟待提高 Table_Title2 Table_Summary 晶圆在封装前和封装过程中需进行多次多种测试，如 WAT 测 试、CP 测试、FT 测试等，所涉及设备包括探针探、测试机、 分选机等，该部分测试设备我们在此前专题报告检测设备系 列之二：半导体测试设备进口替代正当时-20200301中 已进行详细论述和市场规模测算，本文中。

7、1 研究创造价值 从华峰测控上市看本土从华峰测控上市看本土半导体测试设备半导体测试设备黄金发展机遇黄金发展机遇 方正机械半导体设备专题研究（六）方正机械半导体设备专题研究（六） 方正证券研究所证券研究报告方正证券研究所证券研究报告 行业专题报告 行业研究 专用设备行业专用设备行业 2020.03.10/推荐 机械行业分析师：机械行业分析师： 张小郭 执业证书编号： S1220518120。

8、 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 证券研究报告证券研究报告 疫情影响有限疫情影响有限，重点关注半导体设备及油气装备重点关注半导体设备及油气装备 2020 年年 02 月月 11日日 评级评级 同步大市同步大市 评级变动： 维持 行业涨跌幅行业涨跌幅比较比较 % 1M 3M 12M。

9、 检测设备系列之二：半导体测试设备 进口替代正当时 检测设备是大家关注但是在划分上通常并不清晰的一类设备。
我们接下来的一系列报告希望能够深度挖掘检测设备的技术内 核以及在不同行业中的不同应用。
半导体行业是首要分析的下游之一。
大家口中的“半导体检测 设备”可以进一步具体分为：狭义的检测（主要是 Defect Inspection） 、测量（Metrology）以及测试（Test） 。

10、仍有较大的国产提升空间。
贸易战对我国半导体核心技术“卡脖子”半导体产业链中，上游半导体设备和中游制造对美依存度极高，核心芯片的国产化比率极低，存在受技术限制的可能性；相比之下，中游封测和下游终端市场领域对美依存度小，受到影响较小。
贸易战背景下，一方面设备企业前瞻布局非美国地区零部件采购，另一方面国内代工厂/存储器厂评估国内设备厂商的意愿增强。
根据某下游大厂近期的设备采购规划，其2018年国产装备的采购额占总装备采购额的比例仅13%，但从19年开始，国产化率快速提升，预计至2020年将达到30%左右。
下游厂商加速扩产，带动国内半导体设备需求当前大陆成为全球新建晶圆厂最积极的地区，以长江存储/合肥长鑫为代表的的存储器项目和以中芯国际/华力为代表的代工厂正处于加速扩产的阶段，预计带来大量的设备投资需求。
判断2020年国内半导体晶圆制造设备市场空间达1000亿以上，而封装和测试设备市场空间约200亿左右。
细分设备的国产化空间以刻蚀、成膜、量测、清洗、测试设备为例，分析细分领域设备的国产化进程及成长空间。

11、于全球的14%，是全球市场增长的主要动力。
全球竞争格局集中，国产替代加速。
全球半导体设备竞争格局高度集中（CR5占比75%）、龙头企业收入体量大（营收超过百亿美元）、产品布局丰富。
相比而言，国内设备公司体量较小、产品线相对单一。
在“02专项”等政策的推动下，大陆晶圆厂设备自制率提升意愿强烈，国内设备公司迎来了国产替代的关键机遇。
目前，在刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备、检测设备等领域，国内企业正奋力追赶并取得了一定的成绩。
技术突破由易到难，最终实现弯道超车。
我们认为：1.清洗设备、后道检测设备有望率先突破，建议关注长川科技、至纯科技、盛美半导体、华峰测控（科创板拟上市公司）等。
2.晶圆加工核心设备技术难度高，但在国家大力支持与企业持续不断的研发投入下，具备研发实力的公司一旦突破核心技术，有望享受到巨大的市场红利，建议关注中微公司、北方华创、芯源微（科创板拟上市公司）等。

12、 2020 年深度行业分析研究报告 正文目录 1. 清洗是前道制程中的重要环节3 1.1. 清洗应用在制程多环节3 1.2. 清洗方法：干法与湿法、单片与槽式4 1.3. 清洗步骤需要不断重复去除沾污7 2. 全球清洗设备日系占据主导地位，国产设备奋起直追7 2.1. 2021 年全球半导体清洗设备市场规模约为 32 亿美元8 2.2. 全球市场格局日系占据主导地位9 2.3. 大基金二期已。

13、 2020 年深度行业分析研究报告 正文目录 前言存储器价格回升，资本开支有望回暖5 一、全球逐渐走出低谷，国内产能持续爬坡5 1、全球市场：2019 年市场同比下滑，年末逐渐走出低谷5 2、国内市场：产能持续增长，将超韩国成为全球最大半导体市场7 二、摩尔定律下，制程工艺节点迅速演变9 三、半导体清洗需求、难度不断增长10 1、半导体清洗高质量半导体器件的保障11 2、技术路线干法、湿法各。

14、 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 Table_MainInfo 公司研究公司研究/信息设备信息设备/半导体产品与半导体设备半导体产品与半导体设备 证券研究报告 恒玄科技恒玄科技公公司研究司研究 2020 年 10 月 09 日 Table_AuthorInfo 分析师:陈平 Tel:(021)23219646 Email: 证书:S0850514080004 分析师:尹苓 T。

15、检测设备从设计验证到整个半导体制造过程都具有无法替代的重要地位。
中国继承电路的发展国内因为某程度上的故障带来了转机，根据 CSIA 数据显示，2018年国内集成电路市场规模就有 985 亿美元，同比增长 18.53%，2010 年至 2018 年国内集成电路市场复合增长率达到 21.10%，高于全球市场同期年复合增长率，中国已经超过美国、欧洲和日本，成为全球最大的集成电路市场。
从而随着半导体制造技术的不断演进，半导体产业正在经历第三次产能转移，行业需求中心和产能中心逐步向中国大陆转移。
随着产业结构的加快调整，中国集成电路的需求将持续增长。
到了2020年集成电路增长率为8%，远超GDP 增长，同时，预计2021 年集成电路增长率为超过10%，是GDP 增长率的两倍以上。
中国作为全球最大的集成电路市场，中国集成电路产业随着 5G、电动汽车等的快速发展持续发展。
据智研咨询和Gartner,SEMI 数据整理显示，2020 年检测设备全球市场规模约131 亿美元。
而中国半导体检测据前瞻产业研究院统计数据来看，2020 年我国半导体检测设备市场规模达到了176 亿元。
随着我国半导体产业的不断发展，检测设备作为能够提高制程控制良率、提高效率与降低成本的重要检测仪器，同时在未来半导体产业的地位将会日益凸显。
因此预计在2026年我国半导体检测设备市场有望到达400 亿元。

16、 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 Table_MainInfo 行业研究/信息设备/半导体产品与半导体设备 证券研究报告 行业深度报告行业深度报告 2020 年 10 月 20 日 Table_InvestInfo 投资评级 优于大市 优于大市 维持维持 市场表现市场表现 Table_QuoteInfo -8.71% 13.75% 36.20% 58.66% 81.11% 103.57%。

17、TableInfo1 半导体半导体 电子电子 TABLETITLE 日本日本 Ferrotec：全球半导体设备部件及材料隐形冠军：全球半导体设备部件及材料隐形冠军 半导体系列研究之十五 证券研究报告证券研究报告 2020 年 12 月 23。

18、p stylewhitespace: normal;目前，国际国内市场中检测设备被国外高度垄断，目前绝大部分半导体设备依然高度依赖 进口，提升核芯技术自主化率已迫在眉睫。
pp stylewhitespace: normal;量检测设备领域：。

19、p测试沉积炉管刻蚀清洗设备招标台数居前。
从中标数量来看，20172021Q1测试设备前道后道超 2000 台沉积设备937 台炉管设备869 台刻蚀设备677 台清洗设备601 台中标量较多，主要原因系：1随着制程精度提升，刻蚀沉积加工次数。

20、测试沉积炉管刻蚀清洗设备招标台数居前。
从中标数量来看，20172021Q1测试设备前道后道超 2000 台沉积设备937 台炉管设备869 台刻蚀设备677 台清洗设备601 台中标量较多，主要原因系：1随着制程精度提升，刻蚀沉积加工次数。

21、刻蚀是用化学物理化学物理结合的方法有选择的去除光刻胶开口下方的材料。
被刻蚀的材料包括硅介质材料金属材料光刻胶。
刻蚀是与光刻相联系的图形化处理工艺。
刻蚀就是利用光刻胶等材料作为掩蔽层，通过物理化学方法将下层材料中没有被上层遮蔽层材料遮蔽的地方。

22、低自给率叠加国产化替代进程加快，大陆设备商步入高增长机遇期大陆半导体产业历经四个发展阶段，现已步入快速发展期。
19571975 年为中国半导体起步阶段，部分半导体器件开始了初步的研发;改革开放后至 2000 年间，我国先后建立多条晶圆产线，。

23、预计20212025年中国光伏年化平均装机量为78.8GW。
根据国家能源局数据，截至2019年底，中国非化石能源占一次能源消费比重达15.3，提前完成2020年减排目标。
根据2030年非化石能源占一次能源消费比重将达到25，我们预计2025。

24、 有关分析师的申明，见本报告最后部分。
其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。
并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。
芯源微 688037.SH 公司研究 首次报告 国内涂胶显影设备龙头，背靠中科院沈自所国内涂胶显。