【研报】半导体设备行业系列报告之三：清洗篇清洗需求提高关注设备进口替代-20200305[31页].pdf

1、 证券证券研究报告研究报告 | 行业行业联合报告联合报告 工业工业 | 机械机械 推荐推荐（维持维持） 清洗需求提高，关注清洗需求提高，关注设备进口替代设备进口替代 2020年年03月月05日日 半导体设备系列报告半导体设备系列报告之三之三清洗篇清洗篇 上证指数上证指数 3012 行业规模行业规模 占比% 股票家数（只） 367 9.7 总市值（亿元） 30966 5.1 流通市值 （亿元） 23208 4.8 行业指数行业指数 % 1m 6m 12m 绝对表现 0.8 8.8 15.1 相对表现 3.3 1.9 -2.7 资料来源：贝格数据、招商证券 相关报告相关报告 1、基金 19 年报持

2、仓分析 机械持 仓回升，前十大重仓股持仓占比提 升2020-02-02 2、 疫情对机械行业影响点评冲击 是短暂的2020-02-02 3、 油气装备行业点评油气勘采全 面 开 放 ， 有 望 提 升 板 块 估 值 2020-01-09 新冠疫情对于社会正常生产、生活形成了较大影响，然而半导体集成电路制造行 业由于其生产流程的特殊性，受到的影响相对较小（不考虑物流运输、封测等环 节）。春节期间，位于武汉的长江存储、武汉新芯仍在正常运转，而这主要是由 于集成电路制程的日益精细、复杂化，对厂区的洁净度、隔离一贯的高要求。同 时，先进制程的发展也对生产过程中的清洗环节提出了更高的要求。本篇报告主

3、要介绍集成电路清洗工艺以及相关设备，并关注由存储芯片等下游市场回暖带来 的清洗设备国产化机会。 重点推荐关注清洗设备进口替代领先企业至纯科技。 存储器行业价格反弹，国产存储器厂商产能爬坡，行业有望进入景气周期。存储器行业价格反弹，国产存储器厂商产能爬坡，行业有望进入景气周期。 经过一年多的低迷后，NAND 和 Dram 价格均在 19 年年末止跌回升，全球行 业景气度回暖有望重新带动资本开支。而国内的主流存储器厂商，2020 年也 将迎来持续产能爬坡，有望进一步带动设备采购。 半导体清洗制程工艺节点演变半导体清洗制程工艺节点演变，清洗设备要求不断提升，清洗设备要求不断提升。清洗设备是贯穿半 导

4、体产业链的重要环节，避免杂质影响成品质量和下游产品性能，在单晶硅 片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程及封装工艺中均为必要环节。随着集 成电路制程工艺节点越来越先进，对清洗环节也提出了新要求，重要性日益 凸显，清洗步骤约占整体步骤的 33%。 国内清洗设备公司国内清洗设备公司任重道远任重道远。根据我们测算，半导体清洗设备年市场空间 30 亿美元以上，其中国内市场 15-20 亿美元。目前行业绝大部分份额被迪恩士、 泛林等海外巨头垄断，但近年来国内的清洗设备企业发展也非常迅速，通过 人才引进，设立海外子公司，加强研发等方式，龙头至纯科技、盛美等也逐 渐进入了国内、国际一线半导体生产公司。随着国产半

5、导体制造企业对于设 备国产化要求的提升，我们认为清洗设备有可能成为最先大规模国产化的半 导体生产设备品类。 相关公司及投资建议。相关公司及投资建议。至纯科技自 2015 年进入半导体清洗设备领域以来，已 经切入了中芯、万国、燕东、TI 等半导体领先企业，并与国产存储器核心企 业保持了密切合作关系，预计 2020 年单片清洗设备将放量，给予重点推荐。 风险提示：风险提示：半导体资本开支、设备国产化不及预期半导体资本开支、设备国产化不及预期，产品利润率下滑，产品利润率下滑。 诸凯诸凯 S1090518070005 吴丹吴丹 S1090518090001 刘荣刘荣 S1090511040001 研究

6、助理 时文博时文博 陈铭陈铭 重点重点设备设备公司主要财务指标公司主要财务指标 股价股价 18EPS 19EPS 20EPS 19PE 20PE PB 评级评级 至纯科技 35.8 0.13 0.46 0.81 87 43 8.5 审慎推荐-A 长川科技 27.8 0.12 0.05 0.38 556 78 12 审慎推荐-A 华兴源创 48.3 0.61 0.68 0.84 72 57 11 暂无评级 晶盛机电 23.5 0.45 - - - - 8.4 电新覆盖 盛美 20.0 2.54 - - - - 4.3 美股 资料来源：公司数据、招商证券 -5 0 5 10 15 20 25 30