2020中国半导体设备清洗市场行业发展格局现状分析产业研究报告（29页）.docx

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1、2020 年深度行业分析研究报告正文目录前言存储器价格回升，资本开支有望回暖5一、全球逐渐走出低谷，国内产能持续爬坡51、全球市场：2019 年市场同比下滑，年末逐渐走出低谷52、国内市场：产能持续增长，将超韩国成为全球最大半导体市场7二、摩尔定律下，制程工艺节点迅速演变9三、半导体清洗需求、难度不断增长101、半导体清洗高质量半导体器件的保障112、技术路线干法、湿法各有所长123、技术路线单晶圆清洗有望逐渐取代槽式清洗14四、半导体清洗设备市场及行业格局161、清洗设备市场：呈寡头垄断格局，国内企业水平与国际仍有较大差距162、市场空间，国产清洗设备厂商的机遇18五、海外清洗设备龙头191

2、、迪恩士（SCREEN）行业霸主192、东京电子（Tokyo Electron）干法清洗领导者21六、国内清洗设备企业231、至纯科技清洗领域新贵，单片、槽式均具竞争力242、北方华创（电子覆盖）收购 Akrion，实现槽式清洗国产化263、盛美（ACM Research）27图表目录图 1：全球半导体销售额（三个月移动平均值）及同比增速6图 2：1999-2019 年全球半导体销售额6图 3：2010-2019 年全球硅片出货量6图 4：DRAM 和 NAND Flash 价格止跌回升（右轴：美元）7图 5：中国及全球半导体销售额（亿美元）8图 6：中国集成电路产业结构（亿元）8图 7：20

3、10-2019 年国内集成电路进出口金额（万美元）8图 8：新设备和生产线潜能图9图 9：全球半导体设备销售额（十亿美元）9图 10：中国、韩国半导体设备销售额对比（十亿美元）9图 11：晶体管结构10图 12：半导体工艺流程12图 13：半导体良品率随支撑变化曲线12图 14：清洗次数随制程提升曲线12图 15：浸入式湿法清洗槽13图 16：兆声清洗槽13图 17：旋转喷淋示意原理图14图 18：晶圆清洗机的控制结构框图14图 19：单晶圆清洗设备示意图15图 20：自动工作站示意图15图 21：洗刷装置示意图15图 22：洗刷器示意图15图 23：全球晶圆市场营收及同比增速18图 24：2

4、017 年全球半导体设备市场结构18图 25：自动清洗机 FC-310020图 26：2017 年全球半导体设备市场结构20图 27：单晶圆清洗机 SU-330020图 28：SCREEN 总营业收入及同比增速21图 29：SCREEN 销售毛利率及销售净利率21图 30：自动清洗台 EXPEDIUS22图 31：单晶圆清洗 CELLESTA - i MD22图 32：干法清洗机 CELLESTA - i MD22图 33：干法湿法对比23图 34：疏水表面水印对比23图 35：TEL 总营业收入及同比增速23图 36：TEL 销售毛利率及销售净利率23图 37：至纯科技槽式湿法设备24图 3

5、8：至纯科技单片清洗设备24图 39：至纯科技总营业收入及同比增速25图 40：至纯科技归母净利润及同比增速25图 41：至纯科技销售毛利率及销售净利率25图 42：北方华创总营业收入及同比增速26图 43：北方华创归母净利润及同比增速26图 44：北方华创销售毛利率及销售净利率27图 45：盛美 SAPS 设备图28图 46：盛美 TEBO 设备图28图 47：SAPS 清洗原理28图 48：SAPS 清洗效率对比28图 49：清洗损伤程度对比29图 50：盛美总营业收入及同比增速29图 51：盛美销售毛利率及销售净利率29表 1、沾污的种类及对半导体硅片的影响11表 2、硅片的主要清洗方法

6、及优缺点13表 3、半导体清洗设备14表 4、2018 年全球半导体设备厂商营收排名（百万美元）16表 5、2017 年半导体设备竞争格局17前言存储器价格回升，资本开支有望回暖 存储器占据了集成电路市场的半壁江山，从 2018 年以来，由于产能集中释放、库存高企以及需求低增速，存储器的价格经历了一年多的持续下跌，但 19 年年末以来，随着 云计算数据中心等因素的驱动，存储器价格开始反弹，NAND Flash 价格近期以来持续 上涨，Dram 也已经由跌转涨，预期价格还将进一步上涨，带动存储器行业复苏。当前我国存储器产业仍与世界先进水平有一定差距，出于战略目的，国内存储器厂商将 进一步加大产能