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2021年4月,台积电将其2021年资本开支提高至300亿美金(2020年Q4指引是250280亿美金),其中80%投在3nm/5nm/7nm等先进制程, 10%投在先进封装,10%投在成熟制程。台积电未来三年资本开支合计为1000亿美金。台积电开启大陆扩产计划。2021年4月22日,台积电董事会批准了新的投资计划,核准28.87亿美元(约合187亿人民币)扩建南京工厂,生产28nm工艺,月产能为4万片晶圆,主要用于汽车电子芯片。在经历2019年的短期下滑之后,全球半导体晶圆厂均开始加大资本开支。根据SEMI统计, 2020年全球半导体晶圆厂资本开支达1069亿美元,同比增长7.6%。预计2024年将达到1276亿美元,2019-2024年CAGR达5.1%。摩尔定律指出,当价格不变时,集成电路上可接纳的元器件数目,每隔18-24个月便会增加一倍,性能也将提升一倍。摩尔定律推动集成电路线宽的缩小,目前国际一流代工厂台积电已经量产5nm芯片,并在积极研发3nm和2nm制程;国内制程最先进的中芯国际目前能实现14nm芯片量产,7nm工艺处于试产阶段。此外,硅片的尺寸也在变大,从1980s的6英寸升级为2000s的12英寸,未来还将朝着18英寸发展。半导体技术升级快,常表现为“一代技术、一代设备”。技术升级同样会带来设备的巨大需求。