盛美上海-全球半导体清洗设备新星平台化布局打开成长空间-211208（37页）.pdf

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1、盛美上海（688082） 证券研究报告公司研究专用设备 1 / 39 东吴证券研究所东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 全球全球半导体清洗设备半导体清洗设备新星新星，平台化平台化布局打开布局打开 成长空间成长空间 增持（首次） 盈利预测盈利预测与与估值估值 2020A 2021E 2022E 2023E 营业收入（百万元） 1,007 1,571 2,571 3,736 同比（%） 33.1% 56.0% 63.6% 45.3% 归母净利润（百万元） 197 255 440 626 同比（%） 45.9% 29.4% 72.8% 42.3% 每股收

2、益（元/股） 0.50 0.59 1.02 1.44 P/E（倍） 261.32 224.34 129.82 91.25 全球全球半导体清洗设备半导体清洗设备新星新星，业绩，业绩持续快速提升持续快速提升 公司是本土半导体清洗设备龙头，掌握 SAPS、TEBO、Tahoe 等独创技术， 技术水平全球先进，产品涵盖半导体清洗设备、先进封装湿法设备和半导 体电镀设备三大类，已成功供货海力士、华虹集团、长江存储、中芯国际 等国内外知名晶圆厂。下游客户持续突破同时，公司业绩实现快速增长： 收入端：2017-2020 年营收 CAGR 为 58.38%，2020 年达到 10.07 亿元， 收入规模快速扩

3、大；利润端：2017 年归母净利润仅 0.11 亿元，2020 年 达到 1.97 亿元，2017-2020 年 CAGR 高达 162.65%，远高于收入端增速， 盈利水平明显提升。 清洗设备国产替代空间广阔清洗设备国产替代空间广阔，公司清洗设备，公司清洗设备业务业务具备较大成长空间具备较大成长空间 中国大陆半导体产业中国大陆半导体产业已已进入黄金发展期，进入黄金发展期，作为较易实现国产化的环节，清作为较易实现国产化的环节，清 洗设备洗设备迎来发展良机。迎来发展良机。2020 年本土清洗设备市场规模为 9.36 亿美元， 2016-2020 年 CAGR 高达 30.47%，呈现快速发展势头

4、。短期看，中国大陆 晶圆厂扩建力度不减， 2021-2022 年全球新建的 29 座晶圆厂中， 8 座位于 中国大陆，有力拉动清洗设备需求；中长期来看，在技术升级背景下，芯 片制程增加&结构复杂化， 半导体清洗的需求量和技术难度均将明显提升， 对清洗设备的需求有望量价齐升。 全球清洗设备市场由 DNS、 TEL、 Lam 等海外龙头主导，2019 年三家合计市占率接近 90%（按销量） ，盛美已在 本土实现国产替代突破，2019 年在中国大陆招标的中标占比（按数量）达 到 20.5%，仅次于 DNS，在市场需求提升&国产替代的双重逻辑驱动下， 公司半导体清洗设备市场份额有望持续提升，具备持续成

5、长的潜力。 湿法湿法&干法设备并举，平台化干法设备并举，平台化布局布局打开公司成长空间打开公司成长空间 半导体设备半导体设备大赛道大赛道适合孕育全球性大公司， 平台化延展是适合孕育全球性大公司， 平台化延展是半导体设备半导体设备企业企业 做大做强的必经之路，公司做大做强的必经之路，公司以清洗设备起家，已构建起湿法以清洗设备起家，已构建起湿法&干法设备并干法设备并 举的半导体设备平台。举的半导体设备平台。在湿法工艺下，公司横向拓展先进封装湿法&电 镀设备：在后道先进封装环节，公司成功拓展通富微电、中芯长电、Nepes 等新客户， 产品正处在放量阶段； 电镀设备环节， 前道铜互连电镀设备 2019

6、 年获得华虹集团订单，2021M10 公司获亚洲某主要半导体制造商的 Ultra ECP map 镀铜设备 DEMO 订单，公司客户群体有望再次得到突破。公 司以立式炉管为基础实现干法设备的平台化扩张， 前期集中在 LPCVD， 再 向氧化炉&扩散炉发展，最后应用于 ALD，2020 年公司实现首台设备销 售，伴随后续产品放量，进一步打开成长空间。 盈利预测与投资评级：盈利预测与投资评级：我们预计公司 2021-2023 年收入分别为 15.71、 25.71 和 37.36 亿元，当前股价对应动态 PS 分别为 36、22 和 15 倍，公 司作为本土半导体清洗设备龙头，具备较强的成长性和平