什么是电子气体？种类有哪些？生产难在哪里？

1、电子气体

一般来说，电子气体是指运用于电子半导体行业的特种气体，当前主要有两电子特种气体和电子大宗气体两大类;被广泛应用于平面显示行业、太阳能电池行业以及集成电路制造行业等，其中集成电路领域是电子气体的主要应用领域。

2、电子气体种类

以下将根据用途不同，对前述两大电子特种气体进行细分，具体如下：

1)电子特种气体

①用于化学气相沉积(CVD)方面，主要气体产品包括氨气、氦气、氧化亚氮、TEOS(正硅酸乙酯)、TEB(硼酸三乙酯)、TEPO(磷酸三乙酯)、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等。

②用于离子注入，主要产品包括氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等。

③用于光刻胶印刷，主要产品包括氟气、氦气、氪气、氖气等。

④用于扩散，主要产品有氢气、三氯氧磷等。

⑤用于刻蚀，主要产品有氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等。

⑥用于掺杂，含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼、磷化氢、砷化氢等。

2)电子大宗气体

主要产品包括环境气、保护气、载体 氮气、氧气、氩气、二氧化碳等。

3、电子特殊气体生产难在哪里

1)制造工艺复杂

制造一份可用的特殊气体，一般需要经过气体合成、纯化、混配以及气瓶处理四道工序，整个过程中涉及对温度的掌控、催化剂的添加、精馏、吸附等提纯技术，最后还需根据气体性质对气瓶的内外壁进行处理，每个环节都至关只要，不能有丝毫差错。

2)对纯度的要求极高

集成电路领域中，半导体芯片制造对电子气体的纯度要求极高。纳米级别的芯片如果气体中的杂质过多，芯片良率和可靠性都会受到影响，因此，当前电子气体的纯度必须在需要6N级(99.9999%)甚至更高的纯度，而在其他领域，特种气体的纯度只需控制在99.99%以内。

3)认证时间长，要求苛刻

电子气体用于光伏能源，光纤光缆，领域的认证周期约为0.5至1年的时间，显示面板通常为1-2年，集成电路由于要求较高，认证周期能达到2-3年时间;在这段时间内，电子气体公司无法通过该产品获得利益，全靠自身资金支撑，如果本身资金出现问题，产品就无法成功应用，此外，供应商在选择某产品时往往会选择比当前所用气体质量更高的产品。

来源：《【研报】半导体行业电子气体深度报告：半导体材料·电子气体投资宝典-20200324[59页].pdf 》

《特种气体行业专题报告：国产化需求提升电子特气行业迎来发展机遇(19页).pdf 》