半导体硅片是什么？分类有哪些？国内主要生产厂商一览

1 半导体硅片是什么

半导体硅材料的英文全称是semiconductor silicon，它是最主要的元素半导体材料，分为硅多晶、硅单晶、硅片、硅外延片、非晶硅薄膜等，可直接或间接用于制备半导体器件。而半导体硅片是半导体材料的一大类型。

2 半导体硅片分类

半导体硅片按技术工艺可分为抛光片、外延片与以 SOI 硅片为代表的高端硅基材料，不同的硅片应用于不同的领域，由于SOI硅片拥有极高性能，被广泛应用于高端芯片中，单晶硅锭经过切割、研磨和抛光处理后得到抛光片。抛光片经过外延生长形成外延片，抛光片经过氧化、键合或离子注入等工艺处理后形成 SOI 硅片。抛光片可直接用于制作半导体器件，广泛应用于存储芯片与功率器件等。

3 半导体硅片生产设备

单晶炉：拉制单晶硅柱

截断机、滚磨机：对晶棒进行掐头去尾、径向研磨、开槽

切片机：将晶棒切割成目标厚度的硅片

倒角机：对硅片边缘进行去角处理，得到光滑的边缘

研磨设备：清除大部分表面损伤，形成平坦表面

CMP抛光机：更精细的研磨，得到完全光滑的表面

清洗设备：清洗表面颗粒及杂质

检测设备：检测硅片尺寸、外观、平整度、电性能

4 半导体硅片生产厂商

(1)硅产业：是中国大陆规模最大的半导体硅片企业之一，亦是中国大陆率先实现300mm半导体硅片规模化销售的企业，并且在特殊硅基材料 SOI 硅片领域具有较强的竞争力

(2)中环股份：主要产品包括高效光伏电站、太阳能电池片、太阳能单晶硅棒/片、半导体硅锭、76.2-200mm抛光片、TVS保护二极管GPP芯片。 2019 年募集资金建造月产15万片300mm抛光片生产线

(3)立昂微电：主营业务为半导体硅片以及半导体分立器件芯片的研发、生产和销售，产品包括150-200mm半导体硅片、肖特基二极管芯片、 MOSFET芯片

(4)上海/重庆超硅半导体公司：主营业务包括为硅片制造、蓝宝石制造和人工单晶生长等，具备 抛光片、外延片产品生产技术

(5)有研半导体材料公司：主要从事硅材料的研究、开发、生产，主要产品包括集成电路用、功率集成电路125-200mm硅单晶及硅片 150mm 及以下区熔硅单晶及硅片、集成电路工艺设备用超大直径硅单晶及硅部件等

(6)南京国盛电子公司：主营产品包括100-200mm各类外延片

(7)普兴电子科技公司：主要从事高性能半导体材料的外延研发和生产，其主要产品150-200mm硅基外延片、氮化镓外延片和碳化硅单晶及外延片

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