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SESSION 27 Sensor Interfaces.pdf

上传人: 张** 编号:620860 2025-03-31 174页 15.63MB

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本文主要介绍了ISSCC 2025会议中关于传感器接口的几个重要议题。首先,提出了一个具有2.8ms唤醒时间的3轴MEMS陀螺仪,该陀螺仪通过1.5μW的始终开启驱动环实现低功耗。其次,介绍了一个基于BJT的温度传感器,其分辨力为80fJ∙K^2,在-40至125°C的温度范围内,具有±0.2°C的不准确性(3σ)。此外,还介绍了一个基于金属线电阻的温度传感器,该传感器在28nm CMOS工艺中实现了45fJ·K^2的分辨力,在-40至125°C的温度范围内,具有±0.2°C的不准确性(3σ)。最后,介绍了一个具有14位分辨力、5.8nW/Hz BW/功率可扩展的连续时间传感器接口,该接口通过频率控制的电流源实现了225倍的BW/功率可扩展范围。
如何在28nm工艺中实现高精度温度传感? 金属线电阻温度传感器如何提高准确性和效率? 时间域FLL温度传感器如何实现超低功耗和小型化?
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