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覆盖保墒技术所用材料

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4、材以不锈钢和铁基合金为主,分别占比 65%和 20%左右,其次为钨基合金,约占 10%,另有少量硬质合金、铜基合金和钛合金等,约占 5%。

5、材以不锈钢和铁基合金为主,分别占比 65%和 20%左右,其次为钨基合金,约占 10%,另有少量硬质合金、铜基合金和钛合金等,约占 5%。

6、面在与行业龙头公司水平一致,均能达到金属离子含量不超过每平方厘米含有的(特定)原子数为 5 乘以 10 的 10 次方个的目标,但在更先进制程工艺中行业龙头公司产品的技术表现水平更高。

7、在已量产的制程应用中与国外巨头的主要产品不存在技术差距,已经广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、大连英特尔、厦门联芯、长鑫存储、广州粤芯、上海积塔等产线。

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