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支持 AI 的设备数字孪生.pdf

上传人: 哆哆 编号:631006 2025-04-19 51页 6.28MB

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本文主要探讨了人工智能在半导体设计和制造中的应用,以及如何通过数字化转型提高生产效率和可靠性。文中提到了多个关键数据,如:超过200家Cimetrix客户,55K+设备安装和150K+工厂连接;AI/ML技术在Tier-1工厂的应用经验;以及使用Envelope方法进行异常检测等。文章还讨论了数字双胞胎、设备控制软件工具包、诊断增强型设备保护、预测性维护等方面的内容,并强调了在先进图案化应用中,光刻技术的双重图案化和 pitch 分裂的重要性。最后,文章提出了未来的技术发展趋势,如3D半导体器件和“脑芯AI”等。
"AI如何助力半导体设计与制造?" "数字孪生技术在半导体行业中的应用前景如何?" "东京电子技术中心 America, LLC 的创新成果有哪些?"
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