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1、证券研究报告|公司深度|半导体 1/35 请务必阅读正文之后的免责条款部分 北方华创(002371)报告日期:2023 年 07 月 22 日 半导体设备国产替代领军者,布局全面迎来高速成长半导体设备国产替代领军者,布局全面迎来高速成长 北方华创北方华创深度报告深度报告 投资要点投资要点 中国半导体设备中国半导体设备龙头龙头平台化发展平台化发展,营收营收迈入百亿级迈入百亿级业绩业绩加速增长加速增长 公司由七星电子和北方微电子战略重组而成,涵盖半导体装备、真空及锂电装备、电子元器件三大业务,产品应用于集成电路、先进封装、第三代半导体、光伏、锂电、新型显示等领域。公司集成电路设备覆盖刻蚀、沉积、清
2、洗、热处理设备,客户覆盖中芯、华虹、长存、积塔等国内头部晶圆厂。2022 年公司实现营收 147 亿元、归母净利润 23.5 亿元,三年营收、归母净利润复合增长率54%、97%,规模效应下利润高增长。半导体半导体周期周期反转需求预期向好反转需求预期向好,外部制裁外部制裁国产替代国产替代加速加速 2023 年全球半导体处于下行周期,SEMI 预计 2023 年全球半导体设备销售额 874亿美元,同比-18.6%,预计 2024 年半导体行业迎周期拐点,设备市场将复苏至1000 亿美元。美日荷先进设备封锁,国内晶圆厂积极推进设备国产化,设备加速补短板增长板,国产化率有望快速提升。当前我国半导体设备
3、整体国产化率较低,且主要集中在成熟制程,从国产化率高低分为三个梯队:1)国产化率极低(小于 5%):ALD、光刻、量测检测、离子注入。2)国产化率较低(10%-30%):涂胶显影、CVD、刻蚀、PVD。3)国产化率较高:清洗(34%)、热处理(40%)、去胶(90%)。平台型平台型布局逐步完善,布局逐步完善,受益受益于于国产替代国产替代浪潮浪潮 作为国产半导体设备领军者,公司持续受益设备国产替代+产品线延展。1)刻蚀设备:国产 ICP 刻蚀设备龙头,发力 CCP 刻蚀设备。公司面向逻辑、存储、功率、先进封装等客户,已完成数百道工艺的量产验证,12 英寸 ICP 刻蚀设备出货累计超过 2000
4、腔,8 英寸 CCP 刻蚀设备已批量供应市场,12 英寸CCP 晶边介质刻蚀机已进入多家生产线验证。2)薄膜沉积:国产 PVD 设备龙头,CVD 和 ALD 设备全面突破,实现外延设备工艺全覆盖。薄膜沉积装备方面,公司覆盖铜互联、铝、钨、硬掩膜、介质、TSV、背面金属等薄膜沉积工艺,成为国内主流芯片厂优选机台,累计出货超过3000 腔。外延设备方面,实现 4 到 12 英寸全覆盖,具备单晶硅、多晶硅、碳化硅、氮化镓、磷化铟等多种材料外延生长技术能力,覆盖集成电路、功率器件、射频、半导体照明等领域应用需求。3)清洗设备:拥有单片清洗、槽式清洗两大技术平台,主要应用于 12 英寸集成电路领域。20
5、18 年公司收购美国 Akrion,实现单片清洗、槽式清洗全覆盖。4)热处理设备:国内热处理设备龙头。在立式炉装备方面,公司的中温氧化/退火炉、高温氧化/退火炉、低温合金炉,低压化学气相沉积炉、批式原子层沉积炉均已成为国内主流客户的量产设备,并持续获得重复订单,累计出货超过 500台,凭借优异的量产稳定性获逻辑、存储、功率、封装、衬底材料等领域主流客户的认可。5)半导体零部件:布局射频电源和质量流量计两大关键零部件,加强零部件自主可控能力。公司自主研发质量流量计并承担国家 02 专项,目前产品已广泛应用于半导体、真空、光伏等行业。2020 年北方华创微电子收购北广科技射频技术资产,自主研发射频
6、电源,已实现部分国产替代。三重优势铸造护城河,产品多点开花打通产业链 1)研发优势:公司研发投入高于行业,具备先进制程突破能力。2018-2022 年公司研发投入复合增长率为 42%,2022 年达 35.7 亿元,位于同业第一。公司研发投入占营收比重 2022 年达 24%,高于同业可比公司。2)客户优势:设备类型布局全面,部分设备成为国内主流晶圆厂优选机台,受益于成熟制程扩产及国产替代加速,订单有望持续增长。客户优势带来更多工艺验证机会,有望实现从成熟到先进的突破。投资评级投资评级:买入买入(维持维持)分析师:邱世梁分析师:邱世梁 执业证书号:S1230520050001 分析师:王华君分