申万宏源报告指出，国内半导体零部件行业已涌现多家核心标的，分别在机械类、电气类、机电一体类、气体/液体/真空系统类等领域形成差异化布局。江丰电子半导体零部件营收占比从2021年12%提升至1H24的24%，第二成长曲线快速成长；珂玛科技陶瓷加热器放量驱动9M24净利润高增295%；先锋精科金属零部件获中微/北方华创认可，9M24净利润+249%；富创精密产品布局最广、半导体营收占比84%；新莱应材真空管阀有望加速国产替代；正帆科技GasBox向头部设备厂商批量供货；英杰电气获中微公司入股射频电源业务。零部件国产替代趋势下，各细分赛道龙头均有望受益。

江丰电子以靶材业务为基础向零部件延伸，1H24半导体零部件营收占比24%（较2021年+12pcts），9M24归母净利润2.9亿元（+49%）。未进入量产阶段主要研发项目中6项有5项为半导体零部件相关，发展重心向零部件迁移，重点产品Showerhead已进入14nm以下制程。珂玛科技专注先进陶瓷零部件，陶瓷加热器及静电卡盘已量产，9M24营收6.2亿元（+75%）、毛利率59.4%（+近20pcts）、归母净利润2.3亿元（+295%），已具备14nm制程设备零部件新品加工和再生改造能力。先锋精科专注金属机械类零部件，关键工艺部件（腔体、内衬、匀气盘、加热器）占比42%，最大客户中微公司（34%）和北方华创（30%），9M24归母净利润1.8亿元（+249%）、净利率20.2%。富创精密产品布局覆盖机械类、机电一体类、气体/液体/真空系统类，2023年半导体领域营收占比84%、模组产品营收9.2亿元（占比45%），9M24归母净利润1.9亿元（+43.7%）、毛利率回升至28.8%。

新莱应材主营高洁净应用材料和高纯及超高纯应用材料，泛半导体领域主要生产气体系统及真空系统中的管阀类零部件，2023年泛半导体营收占比约25%。9M24归母净利润2.0亿元（+18%）、毛利率25.0%。半导体业务整体向好，加大资本投入折旧增加暂时影响盈利。正帆科技2021年进军泛半导体工艺设备模块与子系统业务，GasBox产品适用于8-12英寸集成电路、平板显示、光伏等行业，已向北方华创、拓荆、中微、微导、晶盛等头部设备厂商批量供货。鸿鹏半导体2024年1-11月净利润约0.91亿元（+35%），正帆科技拟增持鸿鹏股权至90.5%。9M24归母净利润3.3亿元（+23%）、毛利率27.2%、净利率10.4%。

英杰电气主要产品包括功率控制电源及特种电源，2023年光伏营收占比55%、半导体领域占比19%。半导体领域毛利率42.8%（高于光伏的30.9%），1H24半导体营收占比约23%。2024年3月中微公司入股英杰电气子公司英杰晨晖（持股16%），或意味中微将与英杰电气在刻蚀/薄膜沉积设备射频电源领域加大合作，射频电源国产替代有望加速。9M24公司整体毛利率42.0%、净利率23.9%、归母净利润3.0亿元（+8%）。

半导体零部件投资逻辑围绕三条主线：一是技术突破型（从0到1实现高端产品国产化），珂玛科技陶瓷加热器放量是典型代表，毛利率从40%提升至近60%体现高技术壁垒产品的盈利弹性。二是品类扩张型（从单一产品向多品类拓展），江丰电子从靶材向零部件延伸、富创精密从结构件向模组拓展，打开市场空间天花板。三是客户导入型（进入核心设备厂商供应链），先锋精科受益中微/北方华创份额提升、正帆科技GasBox批量供货头部设备厂商、英杰电气获中微入股。当前国内半导体零部件行业整体仍处于国产替代早期阶段，各细分赛道龙头具有持续成长空间。

表：半导体零部件重点公司核心数据对比

公司	核心产品	9M24归母净利润	同比增速	毛利率	关键催化
江丰电子	靶材+零部件	2.9亿	+49%	~30%	零部件占比提升至24%
珂玛科技	陶瓷零部件	2.3亿	+295%	59.4%	陶瓷加热器加速放量
先锋精科	金属机械零部件	1.8亿	+249%	34.5%	中微/北方华创供应链
富创精密	多品类零部件	1.9亿	+43.7%	28.8%	模组产品占比提升
新莱应材	真空管阀	2.0亿	+18%	25.0%	半导体业务向好
正帆科技	GasBox/气体系统	3.3亿	+23%	27.2%	GasBox向头部设备厂供货
英杰电气	射频电源	3.0亿	+8%	42.0%	中微公司入股子公司