半导体设备行业系列报告之九：自主可控向上游深化半导体零部件有望复刻设备成长-250121（35页）.pdf

1、行业及产业 行业研究/行业深度 证券研究报告 电子/半导体 2025 年 01 月 21 日 自主可控向上游深化，半导体零部件有望复刻设备成长 看好半导体设备行业系列报告之九 相关研究 直面科技封锁，AI 终端涌现2025年电子行业投资策略 2024/12/15 自主可控方兴未艾，设备成长仍在途中-半导体设备行业系列报告之七 2024/03/24 证券分析师 杨海晏 A0230518070003 袁航 A0230521100002 李天奇 A0230522080001 联系人 李天奇(8621)23297818 本期投资提示：半导体产业链自主可控逐步向上游推进，零部件预将进入国产替代爆发期。半

2、导体零部件处于芯片制造产业链上游，在半导体设备营业成本中半导体零部件占比近 90%，全球半导体零部件市场 2022 年约 3861 亿元，其中中国大陆市场 2022 年为 1141 亿元。近年来美国等国家意图限制中国大陆先进制程芯片制造能力，由过去几年限制先进半导体设备向中国大陆出口，到 2024 年 12 月将国内多家半导体设备公司纳入实体清单，半导体零部件国产化率提升是产业链自主可控最深层次一环，产品高端化仍有巨大国产替代空间。机械类：广泛应用于所有设备，数量、种类繁多，在零部件中市场规模最大。机械类零部件价值量占比最高，占设备成本比例达到 2040%，产品种类繁多，细分产品数以万计，在各

3、个半导体设备环节均有大量应用。机械类零部件根据功能可分为工艺件及结构件，根据原材料可细分为金属与非金属两大类。机械类零部件的众多品类中重点关注匀气盘、硅电极、陶瓷加热器、静电卡盘等高价值量、高基数壁垒产品。电气类：重点关注射频电源，刻蚀、薄膜沉积等设备中的高技术壁垒关键部件。射频电源的作用是向半导体设备腔室提供固定频率的射频能量，用于激发腔室内的气体离化，从而产生等离子体，因此是影响刻蚀、薄膜沉积设备性能的最关键零部件之一，价值量占比约 1020%。射频电源技术难度相对较高，当前国内市场仍主要由以美国 mks 为代表的海外厂商垄断，国产替代空间巨大。机电一体类：集成化模块及子系统，多用于对半导

4、体设备的外部辅助。机电一体类零部件一般为模组化产品，重点产品包括 EFEM（设备前端模块）、温控器、工件台等。EFEM 主要用于实现对半导体设备进行晶圆的自动供给和卸载，将晶圆从厂房天车系统载入（移出）半导体设备。温控器用于对半导体设备进行控温，附在半导体设备的外部。机电一体类产品具有一定设备属性，直接向晶圆厂出售的占比常高于其他零部件。气体/液体/真空类：用于控制电子特种气体/液体的系统及管阀，性能要求严苛。气体/液体/真空类零部件价值量占设备成本比例约 1030%，主要在设备中起到传输和控制特种气体、液体和保持真空的作用。重要产品包括管阀类产品、以及 Gas Box（气柜模组）等气体供应系

5、统组件。Gas Box 是特种工艺气体输送控制装置，价值量较大且技术难度较高。真空阀用于隔离或传输真空区域外的电子气体等介质，需要优异的密封性表现、精确的流量控制。重点标的：关注具备国产替代潜力的各个零部件领域供应商。重点关注：江丰电子（靶材业务积累深厚产业资源驱动零部件业务成长），珂玛科技（陶瓷零部件突破高技术壁垒核心产品），先锋精科（专注金属零部件获大客户认可），富创精密（具备先发优势+产品品类布局广泛），新莱应材（半导体管阀产品国产替代将加速），正帆科技（气体供应系统及 Gas Box 持续增长），英杰电气（射频电源订单放量）。风险提示：半导体行业周期性波动风险，上游原材料价格上涨风险。

6、请务必仔细阅读正文之后的各项信息披露与声明 行业深度 请务必仔细阅读正文之后的各项信息披露与声明 第2页 共35页 简单金融 成就梦想 投资案件 结论和投资分析意见 看好国内半导体零部件行业发展，受益国产替代趋势。预计国内半导体零部件市场规模有望快速增长，国产零部件供应商预将加速提升市占率，市场空间及份额双增驱动国内零部件公司业绩扩张。原因与逻辑 零部件占据半导体设备营业成本约 90%，市场规模跟随半导体设备持续扩张。根据几大 A 股上市半导体设备公司财报，其营业成本中约 9 成为直接材料成本，直接材料主要即半导体零部件，半导体设备企业毛利率整体在 40%55%，则对应半导体零部件市场估算约为