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纱幕投影原理

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纱幕投影原理Tag内容描述：

1、版之间的光刻胶直接接触,导致极其容易产生污染,降低了产品的良率同时也减少了掩膜版的寿命,所以引进了接近式光刻机,2,与接触式光刻机相比,接近式光刻机为了避免掩膜版与光刻胶直接接触产生污染,所以在掩膜版和光刻胶中间填充了氮气的间隙,掩膜版漂浮。

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