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1、子体刻蚀主要是以高能离子在较硬的介质材料上,刻蚀高深宽比的深孔,深沟等微观结构,而电感性等离子体刻蚀主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的和较薄的材料,这两种刻蚀设备涵盖了主要的刻蚀应用。
2、器性能指标验证通过,该产品可实现单细胞多元素同时检测的基本功能,是针对细胞及元素水平的科学研究研发的高端科学分析仪器,有望助力公司不断实现下游行业和客户拓展。
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