什么是湿电子化学品？分类有哪些？应用在哪些领域？

1、湿电子化学品

湿电子化学品也叫超净高纯试剂，是指主体成分纯度大于99.99%，杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂，是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种电子化工材料，湿电子化学品的质量好坏直接影响电子产品的成品率、电性能和可靠性，对微电子制造技术的产业化也有着重要作用。

按照SEMI登记的分类，湿电子化学品可划分为G1-G5五个等级：

2、湿电子化学品分类

(1)按用途分类

湿电子化学品按用途可分为通用化学品和功能性化学品。

通用化学品

硫酸：强酸性清洗、腐蚀剂，在集成电路制程应用最多

过氧化氢：清洗、腐蚀剂，可与浓硫酸、硝酸、氫氟酸、氢氧化铵等配制使用，在集成电路制程应用较多

氢氟酸：强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、过氧化氢及氢氧化铵等配制使用

盐酸：酸性清洗、腐蚀剂，可与过氧化氢配制使用，可有效降低金属杂质

硝酸：酸性清洗、腐蚀剂，可与冰乙酸、过氩化氢配制使用

磷酸：超纯磷酸为酸性腐蚀剂，主要用于超大规模集成电路工艺技术的生产

氨水：碱性清洗、腐蚀剂，可与过氧化氢、水、氢氟酸配制使用

功能性化学品

蚀刻液：用于硅、金属层蚀刻

显影液：光刻胶曝光后显影剂

剥离液：用于剥离光刻胶

(2)按应用领域湿化学品分类

按应用领域划分，湿化学品主要应用于半导体、平板显示、太阳能以及LED等领域。

半导体

主要应用于半导体制造的晶圆清洗、光刻、刻蚀等过程中;要求的纯度等级最高，技术难度最大，盈利能力最强。

平板显示

主要应用于薄膜制备中的清洗、光刻、刻蚀等环节;技术水平要求较高，盈利能力较强。

太阳能

主要应用于清洗制碱、清洗、刻蚀等;技术水平要求相对较低，盈利能力一般。

来源：《2020中国光刻胶掩模版电子气体半导体材料产业市场行业研究报告(67页).docx》

《江化微-公司首次覆盖报告：国产湿电子化学品龙头积极扩产前景可期-20211112(21页).pdf》