【公司研究】芯源微-涂胶显影打破垄断湿法清洗国产先锋-20200814（22页）.pdf

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1、 1 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 . 涂胶显影涂胶显影打破垄断打破垄断， 湿法清洗国产先锋湿法清洗国产先锋 国内国内涂胶显影涂胶显影设备稀缺供应商设备稀缺供应商，横跨横跨晶圆制造前后道工艺晶圆制造前后道工艺：芯源微是 国内半导体设备稀缺供应商， 自 2002 年年成立以来深耕涂胶显影设备， 已经在 LED 芯片制造及集成电路后道先进封装等环节实现进口替代， 目前正向前道扩展。2017 年公司开拓单片式湿法清洗设备业务，近两 年实现较快增长。根据公告，2019 年两大业务收入占比分别为 52%和 45

2、%。公司 LED 客户主要包括华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等，集 成电路客户主要包括台积电、上海华力、中芯国际、长江存储、华为、 华天科技、长电科技、通富微电等。新产品持续取得客户突破，新增 订单也在持续交付过程中，公司作为国内半导体设备稀缺标的，产品 和技术实力强劲，在国产替代背景下具备高成长性。 涂胶显影设备涂胶显影设备打破打破国外国外垄断，垄断，不断开发高端产品和客户不断开发高端产品和客户：根据 VLSI， 2018 年全球涂胶显影设备市场规模约为 24.13 亿美元， 国内为 9.36 亿美 元。其中，TEL（东京电子）在全球和中国都绝对垄断地位，在国内市 占率约 91%， 国产厂商仅

3、芯源微一家， 占约 4%， 为国产替代突破口 （18 年，根据贝哲斯信息咨询） 。芯源微的工艺范围涵盖 LED 芯片制造、 集成电路制造后道先进封装制程以及前道的 I-line、KrF、ArF 等制程工 艺。公司的前道涂胶显影设备已于 2018 年下半年分别发往上海华力、 长江存储进行工艺验证。 截止 2019 年报， 公司已陆续获得了株洲中车、 青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、昆明京东方、厦门士兰等多个客户 的前道订单。 湿法清洗使用频率高，公司已由后道封装切入前道制造湿法清洗使用频率高，公司已由后道封装切入前道制造：湿法工艺应 用于晶圆制造过程中 90%以上的清洗步骤，其中单片式清洗设备的产

4、 能相对较低，但微粒去除能力较好且可以避免交叉污染。根据 VLSI， 2018 年全球单片式湿法清洗设备规模约 22.69 亿美元， 主要厂商为日本 DNS，占比达 40%以上（根据中国产业信息网） ；国内主要竞争对手为 盛美股份，至纯科技和北方华创。公司生产的单片式湿法设备主要由 清洗机、去胶机和湿法刻蚀机构成，其单片式湿法设备目前广泛用于 晶圆后道封装，另外前道 Spin Scrubber 清洗机设备已在中芯国际、上 海华力等多个客户处通过工艺验证，截至目前已获得国内多家晶圆厂 商的重复订单（根据 19 年报） 。 投资建议：投资建议：我们预计公司 2020 年2022 年收入分为 3.1

5、1 亿元 （+46%） 、5.38 亿元（+73%） 、7.39 亿元（+37%） ，归母净利润分别 为 0.50 亿元（+70.3%） 、0.78 亿元（+55.5%） ，1.23 亿元（+58.1%） ， Tabl e_Ti t l e 2020 年年 08 月月 14 日日 芯源微芯源微（688037.SH） Tabl e_BaseI nf o 公司深度分析公司深度分析 证券研究报告 投资评级投资评级 买入买入-A 首次首次评级评级 股价（股价（2020-08-13） 130.13 元元 Tabl e_Market I nf o 交易数据交易数据 总市值（百万元）总市值（百万元） 10,

6、930.50 流通市值 （百万元）流通市值 （百万元） 2,403.96 总股本（百万股）总股本（百万股） 84.00 流通股本 （百万股）流通股本 （百万股） 18.47 12 个月价格区间个月价格区间 59.00/159.56 元 Tabl e_C hart 股价表现股价表现 资料来源：Wind资讯 升幅升幅% 1M 3M 12M 相对收益相对收益 -8.57 -8.0 -18.71 绝对收益绝对收益 -12.13 6.59 马良马良 分析师 SAC 执业证书编号：S1450518060001 021-35082935 薛辉蓉薛辉蓉 分析师 SAC 执业证书编号：S145052008000

7、2 Tabl e_R eport 相关报告相关报告 -9% 13% 35% 57% 79% 101% 123% 145% 2019-082019-122020-04 芯源微 上证指数 2 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 EPS 分别为 0.59 元、0.92 元和 1.46 元，对应 PE 分别为 219 倍、141 倍和 89 倍，首次覆盖，给予买入-A 投资评级。 风险提示：风险提示：LED 行业周期性不景气的风险；前道涂胶显影设备工艺 验证及市场开拓不及预期的风险；政府补助政策的风险；新冠肺炎疫

8、情导致需求下滑或延缓的风险。 (百万元百万元) 2018 2019 2020E 2021E 2022E 主营收入主营收入 210.0 213.2 311.1 538.3 739.2 净利润净利润 30.5 29.3 49.9 77.5 122.6 每股收益每股收益（元元） 0.36 0.35 0.59 0.92 1.46 每股净资产每股净资产（元元） 2.62 8.99 9.47 17.02 22.74 盈利和估值盈利和估值 2018 2019 2020E 2021E 2022E 市盈率市盈率（倍倍） 358.3 373.0 219.0 140.8 89.1 市净率市净率（倍倍） 49.7 1

9、4.5 13.7 7.6 5.7 净利润率净利润率 14.5% 13.7% 16.0% 14.4% 16.6% 净资产收益率净资产收益率 13.9% 3.9% 6.3% 5.4% 6.4% 股息收益率股息收益率 0.0% 0.1% 0.1% 0.1% 0.3% ROIC 28.1% 15.5% 16.1% 25.7% 17.3% 数据来源：Wind 资讯，安信证券研究中心预测 oPsRmRtOmOrQtPqNxPzQpM9PcM9PtRpPoMrReRmMvNfQqRsO7NmNoRuOpNmPvPmQpO 3 公司深度分析/芯源微 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股

10、份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 内容目录内容目录 1. 国内涂胶显影设备稀缺供应商，横跨晶圆制造前后道国内涂胶显影设备稀缺供应商，横跨晶圆制造前后道 . 5 1.1. 工艺深耕 LED 芯片制造设备，加码晶圆制造前后道工艺 . 5 1.2. 市占率增加提升盈利能力，毛利率处于可比公司前列 . 8 2. 涂胶显涂胶显影设备打破国外垄断，不断开发高端产品和客户影设备打破国外垄断，不断开发高端产品和客户. 10 2.1. LED 芯片市场向中国集中，设备制造商受益 . 12 2.2. 集成电路涂胶显影后道切入前道，已获知名客户认证 . 13 3. 湿法清洗设备使用频率

11、高，公司已由后道封装切入前道制造湿法清洗设备使用频率高，公司已由后道封装切入前道制造. 15 3.1. 湿法清洗设备使用频率最高，单片式为未来发展方向 . 15 3.2. 公司清洗已设备大批量应用于后道制造，前道已通过知名厂商验证上线应用 . 15 4. 盈利预测盈利预测. 17 5. 投资建议投资建议. 18 6. 风险提示风险提示. 18 图表目录图表目录 图 1：公司主要业务和客户 . 5 图 2：公司 2019 年主营构成（%） . 5 图 3：公司历史沿革. 5 图 4：公司股权结构（根据 2020 一季报） . 6 图 5：公司历史主营构成（亿元）. 7 图 6：公司历史营收及同比

12、（亿元） . 8 图 7：公司历史归母净利润及同比（亿元）. 8 图 8：公司历史单季度营收（亿元） . 8 图 9：公司历史归母净利润（亿元） . 8 图 10：公司历史毛利率和净利率（%） . 9 图 11：研发投入占比和销售投入占比（%） . 9 图 12：可比上市公司历史营收（亿元）. 10 图 13：可比上市公司毛利率 . 10 图 14：盛美股份和芯源微单片清洗设备毛利率对比（%） . 10 图 15：光刻工艺流程.11 图 16：芯源微 KS-FT200/300 前道 8/12 寸涂胶显影机 .11 图 17：芯源微 KS-C30012 寸集束型涂胶显影机.11 图 18：201

13、8 全球涂胶显影设备竞争格局 . 12 图 19：2018 国内涂胶显影设备竞争格局 . 12 图 20：公司产品在 LED 芯片晶圆处理中的应用. 12 图 21：2008-2017 年我国 LED 应用行业市场规模（亿元）及增长率 . 13 图 22：2013-2018 年大陆 LED 芯片行业产值规模（亿元）及增长率 . 13 图 23：2013-2023 年全球后道涂胶显影设备销售额及增长率（亿美元） . 14 图 24：2013-2023 年全球前道涂胶显影设备销售额及增长率（亿美元）. 14 图 25：清洗原理示意图 . 15 图 26：去胶原理示意图 . 16 图 27：刻蚀原理

14、示意图 . 16 4 公司深度分析/芯源微 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 图 28：2013-2023 年全球前道单片式清洗设备销售额及增长（亿美元）. 17 表表 1：公司主要产品及介绍：公司主要产品及介绍 . 7 表 2：可比上市（包含 IPO）公司对比. 9 表 3：盈利预测. 18 5 公司深度分析/芯源微 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 1. 国内涂胶显影设备稀缺供应商，横跨晶圆制造前后道国内涂胶显影

15、设备稀缺供应商，横跨晶圆制造前后道 1.1. 工艺工艺深耕深耕 LED 芯片制造芯片制造设备设备，加码晶圆制造前后道工艺，加码晶圆制造前后道工艺 芯源微成立于 2002 年，2019 年 12 月于科创板上市。公司主要产品包括光刻工序涂胶显影 设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机） ，产品可 用于 6 英寸及以下单晶圆处理（LED 芯片制造）及 8/12 英寸单晶圆处理（集成电路制造前 道晶圆加工及后道先进封装） 。LED 客户主要包括华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等，集成 电路客户主要包括台积电、上海华力、中芯国际、长江存储、华为、华天科技、长电科技、 通富

16、微电等。 图图 1：公司主要业务和客户公司主要业务和客户 图图 2：公司公司 2019 年主营构成（年主营构成（%） 资料来源：公司年报，安信证券研究中心 资料来源：安信证券研究中心 公司是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业。2002 年 12 月 1 日，先进 制造、韩国 STL 签订中外合资经营沈阳芯源先进半导体技术有限公司合同 、 中外合资经 营沈阳芯源先进半导体技术有限公司章程 ， 约定共同出资设立芯源半导体， 投资总额为 840 万美元， 注册资本为 420 万美元。 设立时， 先进制造持股 71.43%， 韩国 STL 持股 28.57%。 图图 3：公司历史沿革公

17、司历史沿革 资料来源：公司官网，安信证券研究中心 截止截止 2020 年第一季度年第一季度，公司第一股东为沈阳先进制造技术产业有限公司，公司第一股东为沈阳先进制造技术产业有限公司，持股持股 17.06%，该该 公司公司实际控制人为郑广文先生。实际控制人为郑广文先生。郑广文先生为公司原董事长，现任董事。宗润福先生为公司 董事长，持股 3.15%。根据招股说明书，宗润福先生为研究生学历,研究员,享受国务院政府 特殊津贴,曾获得国家科技重大专项突出贡献奖,辽宁省优秀新产品奖励一等奖,辽宁省科学技 52% 45% 3% 光刻工序涂胶显 影设备 单片式湿法设备 其他业务 6 公司深度分析/芯源微 本报告

18、版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 术奖励二等奖,辽宁省优秀专家等多项殊荣。宗润福先生自 2002 年 12 月至 2019 年 3 月,任 芯源有限总经理、董事、董事长;自 2019 年 3 月至今,任公司董事长兼总经理。另外，公司管 理团队和技术骨干基本上都是公司精心培育，在涂胶显影等核心产品方面的研发、制造和销 售有丰富经验。 公司股东中有大部分为国有资本背景公司股东中有大部分为国有资本背景。其中，具有中科院背景的股东包括中科院沈自所（持 股 17.06%） 、国科投资（持股 8.12%） 、国科瑞祺（持股

19、 5.36%） ，上述中科院背景股东持有 发行人股份不以控股为主要目的。另外，辽宁科发实业（持股 11.82%）为辽宁省国资委控 股单位，无锡市国资委间接持股国科瑞祺。 图图 4：公司公司股权结构（根据股权结构（根据 2020 一季报）一季报） 资料来源：Wind，安信证券研究中心 国内国内涂胶显影涂胶显影设备稀缺厂商设备稀缺厂商，单片式湿法设备纵向产业链拓展。，单片式湿法设备纵向产业链拓展。2016 年之前，涂胶显影设 备是公司的主要营收来源，主用于 LED 芯片制造环节。自 2017 年开始，单片湿法设备的营 业收入快速增加，2017-2019 年营收分别为 0.27、0.72、0.95

20、亿元。同时，光刻工序的涂胶 显影设备营收小幅降低，2017 年-2019 年营收分别为 1.56、1.29、1.12 亿元。 涂胶显影机打破国外垄断，填补国内空白。涂胶显影机打破国外垄断，填补国内空白。作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公 司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断，在 LED 芯片制造及集成电路制造后道先进封 装等环节实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家 02 重大专 项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，于 2018 年下半年分别发往上海华力、长江存储进行工艺验证，其中，上海华力机台已于 2019 年 9 月通

21、过工艺验证并确认收入，长江存储机台目前仍在验证中。 7 公司深度分析/芯源微 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 图图 5：公司历史主营构成（亿元）公司历史主营构成（亿元） 资料来源：Wind，安信证券研究中心 根据适用晶圆尺寸的不同，公司产品可进一步细分为 6 英寸及以下单晶圆处理设备（主要为 LED 芯片制造环节）及 8/12 英寸单晶圆处理设备（主要为集成电路制造前道晶圆加工及后 道先进封装环节） 。其中，公司 6 英寸及以下单晶圆处理设备主要用于 LED 芯片制造（包括 LED 芯片图形化蓝宝石（P

22、SS）衬底制备和 LED 芯片晶圆处理） 、化合物半导体制造以及功 率器件制造。8/12 英寸单晶圆处理设备主要用于集成电路后道封装和前道制造工艺中，公司 生产的涂胶/显影机、 湿法刻蚀机、 去胶机、 清洗机已成功应用于 Bumping、 WLCSP、 Fanout 等后道先进封装工艺的涂胶、显影、刻蚀、去胶以及清洗环节。另外，公司的前道产品涵盖 涂胶/显影、清洗环节，其中 I-line 涂胶显影机已长江存储上线进行工艺验证，可满足 0.18 m 技术节点工艺；Barc（抗反射层）涂胶设备在已通过上海华力工艺验证，可满足 28nm 技 术节点工艺；前道单片式清洗机已通过中芯国际（深圳厂）的技术

23、测试验证，目前已经上线 应用。 表表 1：公司主要产品及介绍：公司主要产品及介绍 产品产品 介绍介绍 6 英寸及以下单晶圆涂胶英寸及以下单晶圆涂胶/显影设备显影设备 涂胶涂胶/显影机显影机 可用于 LED芯片制造、MEMS 芯片制造、化合物芯片制造及功率器件制造等领 域的光刻工序 8/12 英寸单晶圆涂胶英寸单晶圆涂胶/显影设备显影设备 涂胶涂胶/显影机（集成电路制造后显影机（集成电路制造后 道先进封装）道先进封装） 可用于集成电路制造后道先进封装的 Bumping 制备工艺、WLCSP封装工艺、 Fanout 封装工艺等领域的光刻工序 涂胶涂胶/显影机（集成电路制造前显影机（集成电路制造前

24、道晶圆加工）道晶圆加工） 可用于集成电路制造前道晶圆加工环节的光刻工序 喷胶机喷胶机 可用于集成电路制造后道先进封装的圆片级封装 （WLP） 、 3D-TSV 工艺及 MEMS 芯片制造等领域的光刻工序 6 英寸及以下单片式湿法设备英寸及以下单片式湿法设备 去胶机去胶机 可用于 LED芯片制造、MEMS 芯片制造、通讯芯片制造等领 域 8/12 英寸单片式湿法设备英寸单片式湿法设备 去胶机去胶机 可用于集成电路制造后道先进封装的 Bumping 制备工艺、WLCSP封装工艺、 Fanout 封装工艺及新型显示 OLED 制造等领域 湿法刻蚀机湿法刻蚀机 可用于集成电路制造后道先进封装的 Bum

25、ping 制备工艺、WLCSP封装工艺、 Fanout 封装工艺等领域 清洗机（集成电路制造后道先清洗机（集成电路制造后道先 进封装）进封装） 可用于集成电路制造后道先进封装的 Bumping 制备工艺、WLCSP封装工艺、 Fanout 封装工艺等领域 清洗机（集成电路制造前道晶清洗机（集成电路制造前道晶 圆加工）圆加工） 可用于集成电路制造前道晶圆加工领域 资料来源：招股说明书，安信证券研究中心 0 0.5 1 1.5 2 2.5 2016201720182019 其他业务 其它设备 单片式湿法设备 光刻工序涂胶显影设备 1.41 1.90 2.10 2.13 8 公司深度分析/芯源微 本

26、报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 1.2. 市占率增加提升盈利能力，毛利率处于可比公司前列市占率增加提升盈利能力，毛利率处于可比公司前列 公司 2017-2019 年营收分别为 1.90、 2.10、2.13 亿元。归母净利润分别为 0.26、0.30、0.29 亿元。归母净利润增速放缓主要由于 LED 领域产品下游市场周期性不景气，而公司前道产 品主要处于验证阶段，对收入贡献相对有限。其中，2019 年光刻工序涂胶显影设备营收同 比下降 13.32%，主要是喷胶机产品收入下降所致；单片式湿法设备营收同比增

27、加 32.32%， 主要是去胶机产品收入有所增长、 前道清洗设备产品实现销售所致。 19 年光刻工序涂胶显影 设备和单片式湿法设备生产完工量较上年均有所下降，主要原因是本年度订单产品中生产工 艺更加复杂、生产周期更长的 8/12 英寸单晶圆处理设备占比较大，且订单签订时间主要集 中在 2019 年下半年，年底在产机台较多，主要集中在 2020 年上半年完工交付。 图图 6：公司历史公司历史营收及同比营收及同比（亿元）（亿元） 图图 7：公司公司历史归母净利润及同比历史归母净利润及同比（亿元）（亿元） 资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 公司的营收与归母净

28、利润呈现一定的季节性，第一季度通常呈现归母净利润亏损情况。作为 半导体设备生产厂商，生产周期较长，订单确认与收入确认相隔较久。2019 年 Q4 公司实现 营业收入 1.18 亿元， 创历史新高。 公司 2020 年 Q1 实现营收 853 万元， 同比下降 17.24%， 实现归母净利润-787 万元，扣非后归母净利润-1069 万元。 图图 8：公司历史单季度营收（亿元）公司历史单季度营收（亿元） 图图 9：公司历史归母净利润（亿元）公司历史归母净利润（亿元） 资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 公司所处的半导体设备行业具有较高的技术壁垒、市场壁垒和

29、客户公司所处的半导体设备行业具有较高的技术壁垒、市场壁垒和客户验证验证壁垒，行业产品通常壁垒，行业产品通常 能保持较高的毛利率水平能保持较高的毛利率水平。 2016-2019 整体毛利率分别为 42.14%、 41.68%、 46.49%、 46.62%。 2016-2019 年公司整体净利率分别为 3.34%、13.83%、14.51%、13.73%。2016 年净利率 低的原因主要是政府补助金额较低。 0% 5% 10% 15% 20% 25% 30% 35% 0 0.5 1 1.5 2 2.5 2016201720182019 营业收入（亿元，左轴） 同比（%，右轴） -100% 0%

30、100% 200% 300% 400% 500% 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 2016201720182019 归母净利润（亿元，左轴） 同比（%，右轴） 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2 1.4 18Q419Q119Q219Q319Q420Q1 营业收入（亿元，左轴） 营业收入（亿元，左轴） -0.15 -0.1 -0.05 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 18Q419Q119Q219Q319Q420Q1 归母净利润（亿元，左轴） 9 公司深度分析/芯源微 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权

31、属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 细分业务方面，随着公司在国内单片式湿法设备领域市场销量的稳步提升，公司单片式湿法 设备产品对主营业务毛利的贡献度有所提升。 2017-2019 年单片湿法设备的毛利率从 47%增 长到 52%。光刻涂胶显影设备的毛利率维持在 41%左右。 公司自成立以来研发投入处在较高水平。公司自成立以来研发投入处在较高水平。2016-2019 年公司研发投入占营业收入的比重分别 为 11.24%、 10.41%、 16.29%和 16.45%。 相应的销售投入占比逐年下降。 根据招股说明书， 公司研发投入预计将保持在较高水平，继续

32、提升产品的市场竞争力。 图图 10：公司历史毛利率和净利率公司历史毛利率和净利率（%） 图图 11：研发投入占比和销售投入占比研发投入占比和销售投入占比（%） 资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 A 股股上市公司中与芯源微可比上市公司中与芯源微可比的公司的公司分别是盛美股份分别是盛美股份（IPO） （先进封装涂胶显影，先进封装涂胶显影，单片、槽单片、槽 式湿法清洗） 、至纯科技（高纯工艺式湿法清洗） 、至纯科技（高纯工艺，槽式湿法清洗） 、北方华创（设备平台，槽式湿法清洗） 、北方华创（设备平台，单片、单片、槽式湿槽式湿 法清洗） 。法清洗） 。其中，还

33、未上市的盛美股份同时生产先进封装涂胶显影设备，湿法工艺（包括单 片和槽式） ，是芯源微的直接可比公司。至纯科技由高纯工艺向湿法槽式设备发展，槽式清 洗主要以 8 英寸晶圆及以下为主。北方华创是国内集成电路制造设备龙头，其业务涵盖了晶 圆前道制造的大部分设备，包括刻蚀、薄膜沉积、离子注入和清洗。 表表 2：可比：可比上市（包含上市（包含 IPO）公司公司对比对比 证券代码证券代码 证券简称证券简称 主要业务主要业务 2019 营收营收 （亿元）（亿元） 2019 营收增营收增 速速（%） 2019 净利净利 增速增速（%） 2019 年毛年毛 利率利率（%） 2019 年净年净 利率利率（%）

34、688037.SH 芯源微 前后道涂胶显影设备，单片式湿法清洗 2.13 1.51% -3.9% 46.62% 13.73% A20142.SH 盛美股份 后道涂胶显影设备，单片、槽式湿法清洗 7.56 37.52% 45.8% 45.14% 17.83% 603690.SH 至纯科技 高纯工艺，槽式湿法清洗，光器件 9.80 46.34% 250.3% 34.35% 11.19% 002371.SH 北方华创 设备平台，单片、槽式湿法清洗 40.30 22.10% 30.7% 40.53% 9.11% 资料来源：Wind，安信证券研究中心 营收方面公司规模较小，正可比上市公司中排名靠后，增长

35、空间较大。毛利率方面公司为可 比公司之首， 2019 年盛美股份、 至纯科技、 北方华创毛利率分别为 45.14%、 40.53%、 34.35%， 均低于芯源微。 0% 10% 20% 30% 40% 50% 60% 70% 2016201720182019 整体毛利率 光刻工序涂胶显影设备毛利率 单片式湿法设备毛利率 整体净利率 0% 2% 4% 6% 8% 10% 12% 14% 16% 18% 2016201720182019 研发投入占比 销售投入占比 10 公司深度分析/芯源微 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声

36、明请参见报告尾页。 图图 12：可比上市公司历史营收（亿元）可比上市公司历史营收（亿元） 图图 13：可比上市公司毛利率可比上市公司毛利率 资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 盛美股份和芯源微同为单片式清洗设备生产厂商。两者整体毛利率相差不大，但单片清洗设 备方面芯源微的毛利率高于盛美股份。2019 年芯源微此项业务毛利率为 52%，盛美股份则 为 46%。 图图 14：盛美股份和芯源微单片清洗设备毛利率对比（盛美股份和芯源微单片清洗设备毛利率对比（%） 资料来源：Wind，安信证券研究中心 2. 涂胶显影设备打破国外垄断，不断开发高端产品和客户涂胶显影

37、设备打破国外垄断，不断开发高端产品和客户 涂胶/显影设备 （又称 Track 或 Coater、 Developer） 是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、 烘烤及显影设备，包括涂胶机（又称涂布机、匀胶机，英文简称 Spin Coater） 、喷胶机（适 用于不规则表面晶圆的光刻胶涂覆， （英文简称 Spray Coater）和显影机（Developer） 。 涂胶/显影机作为光刻机的输入（曝光前光刻胶涂覆）和输出（曝光后图形的显影） ，主要通 过机械手使晶圆在各系统之间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜 等工艺过程，其不仅直接影响到光刻工序细微曝光图案的形成，显影工艺的图

38、形质量对后续 蚀刻和离子注入等工艺中图形转移的结果也有着深刻的影响，是集成电路制造过程中不可或 缺的关键处理设备。 2.13 7.56 9.80 40.30 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 芯源微 盛美股份 至纯科技 北方华创 20152016201720182019 0% 10% 20% 30% 40% 50% 201720182019 芯源微 盛美股份 至纯科技 北方华创 40% 42% 44% 46% 48% 50% 52% 54% 201720182019 盛美股份 芯源微 11 公司深度分析/芯源微 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 图图 15：光刻工艺流程光刻工艺流程