【公司研究】芯源微-涂胶显影打破垄断湿法清洗国产先锋-20200814（22页）.pdf

1、 1 本报告版权属于安信证券股份有限公司。本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。各项声明请参见报告尾页。 . 涂胶显影涂胶显影打破垄断打破垄断， 湿法清洗国产先锋湿法清洗国产先锋 国内国内涂胶显影涂胶显影设备稀缺供应商设备稀缺供应商，横跨横跨晶圆制造前后道工艺晶圆制造前后道工艺：芯源微是 国内半导体设备稀缺供应商， 自 2002 年年成立以来深耕涂胶显影设备， 已经在 LED 芯片制造及集成电路后道先进封装等环节实现进口替代， 目前正向前道扩展。2017 年公司开拓单片式湿法清洗设备业务，近两 年实现较快增长。根据公告，2019 年两大业务收入占比分别为 52%和 45

2、%。公司 LED 客户主要包括华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等，集 成电路客户主要包括台积电、上海华力、中芯国际、长江存储、华为、 华天科技、长电科技、通富微电等。新产品持续取得客户突破，新增 订单也在持续交付过程中，公司作为国内半导体设备稀缺标的，产品 和技术实力强劲，在国产替代背景下具备高成长性。 涂胶显影设备涂胶显影设备打破打破国外国外垄断，垄断，不断开发高端产品和客户不断开发高端产品和客户：根据 VLSI， 2018 年全球涂胶显影设备市场规模约为 24.13 亿美元， 国内为 9.36 亿美 元。其中，TEL（东京电子）在全球和中国都绝对垄断地位，在国内市 占率约 91%， 国产厂商仅

3、芯源微一家， 占约 4%， 为国产替代突破口 （18 年，根据贝哲斯信息咨询） 。芯源微的工艺范围涵盖 LED 芯片制造、 集成电路制造后道先进封装制程以及前道的 I-line、KrF、ArF 等制程工 艺。公司的前道涂胶显影设备已于 2018 年下半年分别发往上海华力、 长江存储进行工艺验证。 截止 2019 年报， 公司已陆续获得了株洲中车、 青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、昆明京东方、厦门士兰等多个客户 的前道订单。 湿法清洗使用频率高，公司已由后道封装切入前道制造湿法清洗使用频率高，公司已由后道封装切入前道制造：湿法工艺应 用于晶圆制造过程中 90%以上的清洗步骤，其中单片式清洗设备的产

4、 能相对较低，但微粒去除能力较好且可以避免交叉污染。根据 VLSI， 2018 年全球单片式湿法清洗设备规模约 22.69 亿美元， 主要厂商为日本 DNS，占比达 40%以上（根据中国产业信息网） ；国内主要竞争对手为 盛美股份，至纯科技和北方华创。公司生产的单片式湿法设备主要由 清洗机、去胶机和湿法刻蚀机构成，其单片式湿法设备目前广泛用于 晶圆后道封装，另外前道 Spin Scrubber 清洗机设备已在中芯国际、上 海华力等多个客户处通过工艺验证，截至目前已获得国内多家晶圆厂 商的重复订单（根据 19 年报） 。 投资建议：投资建议：我们预计公司 2020 年2022 年收入分为 3.1

5、1 亿元 （+46%） 、5.38 亿元（+73%） 、7.39 亿元（+37%） ，归母净利润分别 为 0.50 亿元（+70.3%） 、0.78 亿元（+55.5%） ，1.23 亿元（+58.1%） ， Tabl e_Ti t l e 2020 年年 08 月月 14 日日 芯源微芯源微（688037.SH） Tabl e_BaseI nf o 公司深度分析公司深度分析 证券研究报告 投资评级投资评级 买入买入-A 首次首次评级评级 股价（股价（2020-08-13） 130.13 元元 Tabl e_Market I nf o 交易数据交易数据 总市值（百万元）总市值（百万元） 10,

6、930.50 流通市值 （百万元）流通市值 （百万元） 2,403.96 总股本（百万股）总股本（百万股） 84.00 流通股本 （百万股）流通股本 （百万股） 18.47 12 个月价格区间个月价格区间 59.00/159.56 元 Tabl e_C hart 股价表现股价表现 资料来源：Wind资讯 升幅升幅% 1M 3M 12M 相对收益相对收益 -8.57 -8.0 -18.71 绝对收益绝对收益 -12.13 6.59 马良马良 分析师 SAC 执业证书编号：S1450518060001 021-35082935 薛辉蓉薛辉蓉 分析师 SAC 执业证书编号：S145052008000