沈璐-光学展会-成都PPT对外20240425-1.pdf

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1、2024中国（成都）国际精密光学中国（成都）国际精密光学2024中国（成都）国际精密光学暨机器视觉技术应用大会暨机器视觉技术应用大会中国（成都）国际精密光学暨机器视觉技术应用大会暨机器视觉技术应用大会2024中国（成都）国际精密光学暨机器视觉技术应用大会中国（成都）国际精密光学暨机器视觉技术应用大会原子层沉积(ALD)在光学镀膜领域的应用沈璐 博士2024/4/25Copyright 2024 SUPERALD Confidential PPT All rights 1企业简介PART 1Copyright 2024 SUPERALD Confidential PPT All rights 2

2、3原速科技(SUPERALD,LLC)是一家专注于开发原子层沉积(ALD)技术的高科技企业，为新能源、纳米技术等领域的薄膜研发及生产提供技术解决方案，致力于成为超薄膜层制备技术及生产装备的供应平台。原速科技的技术研发团队拥有来自加拿大麦吉尔、荷兰代尔夫特理工等世界名校背景的研发经历，更有来自北美、欧洲等拥有10余年ALD产业经验资深技术专家。原速科技中国ALD创新驱动者Copyright 2024 SUPERALD Confidential PPT All rights 3原速科技 荣获国家高新技术企业认定，目前已在全国与多所高校研究机构达成合作关系，其中包含北大、清华、西安交大、南科大、中科

3、院物理所、苏州大学、深圳技术大等著名高校研究所，并且与多所高校正在建立着合作关系。公司荣誉公司也在积极的进行各种专利的申请认证，目前申请的专利共119项，已授权的专利有79项。Copyright 2024 SUPERALD Confidential PPT All rights 4Point 01 先进的工业级设备设计和制造集成技术，为设备提供了长期使用的稳定性，以及后期维护的便捷性。Point 02 有强大的工艺研发和材料研发实力，独立的工艺研发部门可以为材料开发提供持续的技术支持。Point 03 自主研发的新一代ALD系统设计，确保设备的每一个环节的自主专利权，可保障未来ALD技术设备的

4、国产化。Point 04 独特的材料及工艺方案具有超强的创新能力和核心竞争力，可大幅度提升器件的使用寿命，并使材料的生产成本得到大大降低。从零开始的设计、制造到生产测试，原速科技拥有着一支完整强大的团队，所有的设备均由公司独立设计完成，而核心的工艺技术支持，原速科技也有着专业领域的归国人才作为保障，保证了设备的售后技术问题能高效率，高精度的解决，因为专一，所以专业，原速科技致力于成为超薄膜层制备的关键技术和设备群的供应平台，始终坚持的自主研发与技术创新保障了设备的完整性，可塑性以及大规模工业化量产的可实施性，完整的设计跟设备研发体系保障了在量产化中能游刃有余的解决各种难题。我们的技术优势？Co

5、pyright 2024 SUPERALD Confidential PPT All rights 5ALD技术介绍PART 2Copyright 2024 SUPERALD Confidential PPT All rights 原子层沉积(ALD,Atomic Layer Deposition)是一种基于气态前驱体在沉积表面发生化学吸附的纳米薄膜沉积技术。ALD通常由前后A、B两个半反应序列组成，具有表面自限制性，通过自限制性的前驱体交替饱和反应获得厚度、组分、形貌及结构在纳米尺度上高度可控的薄膜。Al(CH3)3+H2O/O2 plasma Al2O3Copyright 2024 SUP

6、ERALD Confidential PPT All rights 7ALD技术特点及优势厚度控制精准致密均匀高台阶覆盖率技术方法蒸镀分子束外延物理溅射化学气相沉积原子层沉积台阶覆盖率一般一般一般好最好真空度高超高高低低薄膜均匀性一般一般一般较好最好界面品质好好一般好最好厚度控制时间时间时间时间循环次数机密Copyright 2024 SUPERALD Confidential PPT All rights 8光学镀膜介绍 光学镀膜 应用场景增透膜：防眩光、减少杂光鬼影装饰膜水汽阻隔层钝化层介电层【Lenses：Mobile Phone/Car/AI/AR&VR Optics,Metalens