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1、 1/28 2023 年年 3 月月 10 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 行业研究报告 慧博智能投研 靶材靶材行业深度：行业深度：行业壁垒、应用细分、行业壁垒、应用细分、产业产业链及相关公司深度梳理链及相关公司深度梳理 20 世纪 90 年代以来靶材已蓬勃发展成为一个专业化产业，中国及亚太地区靶材的需求占有世界 70%以上的市场份额。大量不同的沉积技术用来沉积生长各种薄膜，靶材是制作薄膜的关键，品质的好坏对薄膜的意义重大。目前高端品质靶材主要由：日本，德国和美国生产，我国靶材产业起步较晚，在产品质量与精细标准上与国外有不少的差距，国内也对靶材也积极投入了大量钻研与开发，经过这几年

2、的发展涌现出了一批在靶材行业优秀的公司，未来有望推动靶材行业国产化发展。本文将从靶材的概念概念切入，了解靶材的工作原理工作原理及分类，分类，并对靶材行业的现现状、壁垒、状、壁垒、产业链及相关公产业链及相关公司司以及下游各应用领域下游各应用领域进行详细梳理，希望对大家了解靶材行业有所启发。目录目录 一、行业概述.1 二、行业现状.3 三、行业壁垒.5 四、产业链分析.6 五、应用领域细分.9 六、相关公司.26 七、趋势展望.27 八、参考研报.27 一、一、行业概述行业概述 1、概念概念 靶材是用物理气相沉积（PVD）技术沉积薄膜需要用到的原材料。PVD 分为溅射法和蒸镀法。溅射法是利用离子源

3、产生的离子，在真空中加速聚集成高速离子流，轰击固体表面，离子和固体表面的原子发生动能交换，使固体表面的原子离开靶材并沉积在基材表面，从而形成纳米（或微米）薄膜。被轰击的固体是 PVD 沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材。靶材质量的好坏对薄膜的性能起着至关重要的决定作用。真空蒸发镀膜是指在真空条件下，利用膜材加热装置（称为蒸发源）的热能，通过加热蒸发某种物质使其沉积在基板材料表面的一种沉积技术。被蒸发的物质是用真空蒸发镀膜法沉积薄膜材料的原材料，称 2/28 2023 年年 3 月月 10 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 之为蒸镀材料。真空蒸发镀膜技术具有简单便利、操作方便、成膜速度快等

4、特点，主要应用于小尺寸基板材料的镀膜。2、分类、分类 溅射靶材种类多样，下游应用广泛。溅射靶材种类多样，下游应用广泛。从分类上来看，溅射靶材主要按形状、化学成分、应用领域这三个标准分类。形状分类中形状分类中，主要分为长靶、方靶、圆靶。化学成分分类中化学成分分类中，主要分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材；应用领域分类中应用领域分类中，主要分为半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、工具改性靶材、电子器件靶材等。从应用场景来看从应用场景来看，溅射靶材主要应用于半导体芯片、平面显示器、太阳能电池、信息存储、工具改性、电子器件等领域。其中半导体芯片、平板显示器和光伏电池领域对

5、于靶材纯度、稳定性要求非常高，主要采用高纯靶材。半导体芯片对靶材的要求最高，一般要求靶材纯度在 99.9995%（5N5）以上，平板显示器要求靶材纯度一般在 99.999%（5N）级别，光伏电池要求靶材纯度一般在 99.99%（4N）以上。eZeZfVfVbUfYbZcW9PbPaQsQmMpNsRiNoOmPlOnMpNaQsQnPvPmRqOwMmPqR 3/28 2023 年年 3 月月 10 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 二、行业现状二、行业现状 1、国内外靶材市场规模不断扩大国内外靶材市场规模不断扩大 自 2016 年以来，全球靶材市场规模从 113 亿美元上升至 19

6、6 亿美元，年增长率基本保持在 15%左右。中商产业研究院数据显示，2021 年靶材市场规模增长率有所放缓，大约在 8%左右，市场规模将达到213 亿美元。中国靶材市场规模同样保持快速增长。2016-2020 年，中国靶材市场规模从 177 亿元增长至 337 亿元，增长率基本保持在 17%左右。4/28 2023 年年 3 月月 10 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 2、美日公司掌控全球靶材市场美日公司掌控全球靶材市场 靶材市场集中度高，主要被世界巨头垄断。靶材市场集中度高，主要被世界巨头垄断。由于溅射镀膜工艺起源于国外，国外靶材公司相较于国内拥有更长时间的成长历史和技术积淀，在