2023年电子束曝光系统(EBL)行业现状及发展前景分析

一、电子束曝光系统(EBL)行业现状概述



电子束曝光系统（EBL）是电子束技术在微电子领域应用的重要技术手段，当今芯片制造技术的微细制造要求对光刻机的曝光精度有更高的要求。因此，电子束技术的应用在新一代微电子材料中越来越重要，电子束曝光系统也逐渐成为先进的布局装配和材料制备技术。从2017年开始，该行业发展逾五年，经过2022年全年，EBL行业发展迅速，全球范围内的发展趋势越来越明显，目前全球EBL行业的市场规模占全球微电子系统市场的约5%，2022年全球规模约为237.37亿美元，同期复合增长率约为4.30%。

二、现状分析

1. 技术创新活跃

伴随着全球整合电路（IC）技术的不断发展，以及近年来微电子加工技术不断变得强大，芯片设计对曝光技术的要求越来越高，因此该行业技术创新也在不断发展。根据统计数据，到2022年，晶圆级EBL投入的技术研发投资规模将达到36亿美元。EBL以满足晶圆级曝光的新要求为目标，并且通过新结构、新材料、新技术和新材料的技术创新，以提升曝光精度、降低电耗、改善质量等，满足用户对新一代电子材料的更新需求。

2. 销量不断增长

自2017年以来，EBL市场价格一直存在较大的波动，但最终总体仍在增长，此外EBL的销量也正在不断增长。全球EBL设备厂商的销量在过去几年中呈现出良好的增长趋势，截止2019年底，其销量达到了历史最高水平，2020年销量有望继续增长。

3. 价格波动不断增大

展望2022年，EBL行业尤其是超薄晶圆级EBL价格变动更为明显，而精密晶圆级的价格变化较小。由于节能减排及节约原材料的侧重，以及性能越来越低工艺成本的需求，要求EBL厂商提供低价、高性能的曝光系统，因此从2017年开始至2020年，EBL价格一直在上涨，而随着市场竞争不断加剧和技术不断更新，价格波动越来越剧烈。

三、发展前景展望

1. 需求量持续增长

芯片高密度，芯片复杂度和技术的升级，都需要节点的不断升级，对它的可靠性有很大的提升，因而芯片上的电子束曝光系统（EBL）的应用也大大增加，EBL价格也将会持续上涨。预计2022年，全球EBL需求将达到全球微电子系统市场的10%。

2. 厂商竞争加剧

随着微电子制造的节约性和计算能力的不断提高，EBL行业厂商之间的竞争将越来越激烈。2022年，EBL行业将出现环境检验、钛酸、应用设备等多个细分市场，厂商之间的竞争力较强，服务力也较强，市场份额差距也较小。

3. 品牌竞争日趋激烈

在面对节能减排