出口限制升级与全球半导体设备市场新高并存,国产设备迎来黄金窗口期。上海证券研究报告指出,2024年全球芯片设备销售额预计1130亿美元(+6.5%)创历史新高。ASML等国际设备企业中国大陆营收占比预计从47%滑落至20%左右,有望给国产设备腾出市场空间。薄膜沉积、刻蚀、清洗、CMP等环节国产化率持续提升,自主替代进程加速。
全球半导体设备市场创历史新高
据SEMI报告,2024年全球芯片设备销售额预计同比增长6.5%至1130亿美元,创下历史新高。SEMI预测2025年和2026年销售额将分别增长7%和15%,达到1210亿美元和1390亿美元,继续刷新纪录。全球半导体设备市场持续景气,为国产设备企业提供了良好的行业环境。中国半导体设备市场规模在全球占比持续提升,国产替代空间巨大。
国际设备企业中国大陆占比下滑,国产替代窗口打开
ASML财报显示2024Q3中国大陆业务占比47%,但预计2025年将滑落至20%左右。KLA从42%降至20%,Lam Research从41%降至30%。出口限制下,海外龙头公司中国大陆销售额占比下滑,有望给国产设备腾出市场空间。2024年12月2日美国商务部新规对华半导体出口管制进一步升级,包括对24种半导体制造设备、3种软件工具及HBM芯片增加出口限制。在此背景下,国内晶圆厂加速国产设备验证和导入。
薄膜沉积设备——北方华创、拓荆科技、中微公司三足鼎立
薄膜沉积设备是半导体制造核心设备之一,国内主要供应商包括北方华创、拓荆科技、中微公司、微导纳米等。北方华创在PVD领域领先,拓荆科技在PECVD领域具备优势,中微公司在MOCVD领域占据主导。薄膜沉积设备国产化率从2018年的约5%提升至2024年的约15-20%,但高端产品仍依赖进口,替代空间广阔。随着国内晶圆厂扩产和自主可控需求提升,薄膜沉积设备国产化进程有望加速。
刻蚀设备——中微公司与北方华创双龙头
刻蚀设备是半导体制造核心设备,国内主要供应商为中微公司和北方华创。中微公司在介质刻蚀领域具备全球竞争力,已进入台积电等国际大厂供应链。北方华创在硅刻蚀和金属刻蚀领域持续突破。刻蚀设备国产化率从2018年的约10%提升至2024年的约25-30%,在成熟制程领域已实现批量替代,先进制程刻蚀设备仍处验证阶段。
量/检测、清洗、CMP设备——多环节突破
量/检测设备国内主要供应商包括精测电子、中科飞测、上海睿励等,国产化率约10-15%,是最具替代潜力的环节之一。清洗设备由盛美上海、北方华创、至纯科技、芯源微等布局,盛美上海在单片清洗领域达到国际水平。CMP设备由华海清科主导,是国内少数实现大批量量产的CMP设备供应商。涂胶显影设备由芯源微布局,热处理设备由北方华创、屹唐半导体、盛美上海等供应。
国产设备替代投资逻辑
国际设备企业中国大陆营收占比下滑与国内晶圆厂扩产形成剪刀差,国产设备企业有望加速填补市场空间。建议关注各细分领域龙头:薄膜沉积(北方华创、拓荆科技)、刻蚀(中微公司)、清洗(盛美上海)、CMP(华海清科)、量/检测(精测电子、中科飞测)。风险提示:中美贸易摩擦加剧、技术突破不及预期、晶圆厂资本开支波动。
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