电子级大宗气体是什么？包括哪些？应用一览

1.电子级大宗气体

大宗气体(BulkGas)有氮气、氢气、氧气、氩气和氦气等气体，一般是指集中供应且使用耗量较大的气体，涵盖制程用气如PN2，P02，Par，PH2，PHe，以及非制程用气如CDA，IA，GN2等，电子级大宗气体是运用于半导体制造中的大宗气体。

2.电子级大宗气体包括哪些

如上所属，当前用于半导体制造的大宗气体主要包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气和二氧化碳。

(1)氩气

Ar用于等离子沉积和蚀刻工艺的工厂中，还可用于深UV光刻激光器中半导体芯片的最小特征的图案上。液化氩气的液滴还被越来越多的用于清洗最小，最脆弱的芯片结构中的碎屑。

(2)二氧化碳

CO2可用于支持先进的浸没光刻，专用低温清洗应用以及DI(去离子水)处理。

(3)氦气

由于更大的工厂和更高的工艺强度需求，H₂的使用量正在增加。它用于硅和硅锗的外延沉积和表面处理。随着EUV(极紫外线)的转变，氢气的需求量将继续增长。

(4)氢气

由于更大的工厂和更高的工艺强度需求，H₂的使用量正在增加。它用于硅和硅锗的外延沉积和表面处理。随着EUV(极紫外线)的转变，氢气的需求量将继续增长。

(5)氧气

O₂用于在蚀刻中产生氧化物层。现场可提供杂质少于10ppb的超纯液态氧(LOX)且无需外部净化器。

(6)氮气

N₂是目前半导体制造中使用最多的气体。它用于吹扫真空泵，排放系统，还可以用来做为一种工艺气体。在大型的，先进的工厂，氮气的消耗量可达每小时5万立方米，这使得工厂需要成本效益好，低能耗的现场氮气发生器。

3.大宗气体厂家

当前，国内大宗气体知名厂家包括苏州金宏气体有限公司、盛品精密气体(上海)有限公司、上海韩科建设工程有限公司和博纳威尔(苏州)洁净科技有限公司。

(1)苏州金宏气体有限公司

苏州金宏气体股份有限公司成立于1999年，是专业从事气体研发、生产、销售和服务的安全、环保、集约型综合气体提供商。总部基地位于苏州市相城区黄埭镇潘阳工业园。公司于2020年6月在科创板上市(688106)。主要为客户提供各种大宗气体、特种气体和天然气的一站式供气解决方案。

(2)盛品精密气体(上海)有限公司

盛品精密气体(上海)有限公司属于联华林德公司总部，联华林德属于林德集团，联华林德专业服务于中国电子行业，凭借当地的专业技术并网罗全球资源，为半导体，显示屏，太阳能及LED行业提供电子大宗气体及特殊气体供应解决方案，为客户业务增值。

(3)上海韩科建设工程有限公司

上海韩科建设工程有限公司成立于2012年，以机电、环保、特气、化学品、消防、电子智能化为核心业务领域，以“为客户提供稳定可靠智能的工艺系统”为企业愿景，致力于电子、半导体、新能源及医药等先进的制造业领域，专注高纯供应系统及环保系统集成，提供机电系统、高纯供应系统及环保系统咨询设计、设备制造、安装调试等一整套系统综合解决方案，并综合工程项目施工的质量控制，提供系统检测标定及项目后期的维护保养、厂务托管等增值服务。

(4)博纳威尔(苏州)洁净科技有限公司

由从事多年高洁净输送不锈钢管道、管件、阀门产品的专业团队组建而成，公司秉承专注，专业之理念，为国内半导体，生物制药，食品、化工等行业提供优质高洁净不锈钢产品。

以上梳理了电子级大宗气体的定义、种类及应用等，希望对你有所帮助，如果你想了解更多相关内容，敬请关注三个皮匠报告的行业知识栏目。

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