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刻蚀用单晶硅材料产业链-行业数据

刻蚀用单晶硅材料产业链
刻蚀用单晶硅材料产业链
刻蚀用单晶硅材料主要用于加工制成刻蚀设备上的硅电极，由于硅电极在硅片氧化膜刻蚀等加工工艺过程会被逐渐腐蚀并变薄，当硅电极厚度减少到一定程度后，需替换新的硅电极，因此硅电极是晶圆制造刻蚀工艺的核心耗材。
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所属报告： 【研报】化工行业新材料系列报告五：刻蚀用单晶硅是晶圆制造的核心耗材之一-20200214[16页].pdf
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