盛美上海-投资价值分析报告：从半导体清洗设备龙头到平台型设备企业-220512（54页）.pdf

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1、 证券研究报告 请务必阅读正文之后的免责条款 从从半导体半导体清洗设备龙头清洗设备龙头到到平台型平台型设备设备企业企业 盛美上海（688082.SH）投资价值分析报告2022.5.12 中信证券研究部中信证券研究部 核心观点核心观点 徐涛徐涛 首席电子分析师 S1010517080003 王子源王子源 半导体分析师 S1010521090002 盛美上海为国内盛美上海为国内半导体半导体设备平台型企业，设备平台型企业，在在清洗设备清洗设备领域国际领先，重视差异领域国际领先，重视差异化竞争，持续拓展设备品类，布局电镀、立式炉、先进封装湿法设备等，覆盖化竞争，持续拓展设备品类，布局电镀、立式炉、先进

2、封装湿法设备等，覆盖湿法和干法工艺湿法和干法工艺。预计预计公司未来受益行业扩产和设备国产渗透率提升，业绩有公司未来受益行业扩产和设备国产渗透率提升，业绩有望望快快速速成长成长，首次，首次覆盖，覆盖，给予“买入”评级。给予“买入”评级。 半导体清洗设备龙头，技术国际领先。半导体清洗设备龙头，技术国际领先。公司主要产品包括半导体清洗设备（2021 年营收占比 65.14%）、电镀设备和立式炉等其他半导体设备（占比16.88%）、先进封装湿法设备（占比 13.44%）等，对应市场空间超 70 亿美元。其中半导体清洗设备为核心产品，2020 年及之前占公司营业收入超过80%，公司坚持差异化竞争和创新的

3、发展战略，全球首创 SAPS、TEBO 兆声波清洗等技术，在清洗设备领域，公司兆声波技术超越 SCREEN、TEL、LAM等传统国际龙头，在国产设备厂商中获采购数量最多，未来有望随客户开拓继续提升份额。 全面布局湿法设备，拓展立式炉进入干法全面布局湿法设备，拓展立式炉进入干法工艺工艺领域，完善产品组合。领域，完善产品组合。除半导体清洗设备外，公司积极布局电镀设备、立式炉管设备、先进封装湿法设备等领域，2021 年新布局设备合计营收占比提升至 30%。在先进封装领域，公司产品覆盖清洗、湿法刻蚀、涂胶、显影、去胶、刷洗等，以此为基础，公司未来有望向前道制造湿法工艺扩展。另一方面，在干法工艺领域，公

4、司已推出LPCVD （低压化学气相沉积）设备，向氧化炉、扩散炉、ALD 设备发展。LPCVD 立式炉 2021 年已送华虹集团验证并获得批量订单，2022 年 ALD 立式炉有望推出，成为新的增长点。 长期有望成长为国际化的平台型半导体设备企业。长期有望成长为国际化的平台型半导体设备企业。公司国内大客户涵盖长江存储、华虹集团、中芯国际等知名企业，同时积极进军国际市场，成立之初即打入国际厂商海力士，近年积极开拓美国领先先进制程晶圆厂商，2021 年DEMO 设备已进入其先进制程产线。公司注重先进技术的持续研发，通过产品技术领先优势及差异化保障较高的毛利率水平。未来公司料将受益国内晶圆厂扩产的明确

5、趋势和国产设备导入红利，持续完善设备品类，打开新成长曲线，同期拓展海外客户提升国际市场份额，业绩有望持续高速成长。 风险因素：风险因素：晶圆厂资本开支下行，公司新品研发低于预期，市场竞争加剧，公司关键零部件供应受限，国际贸易争端加剧风险，公司与控股股东 ACMR 分别在中国和美国上市的风险等风险。 投资建议：投资建议：公司核心业务清洗设备稳定增长，新增业务电镀设备、立式炉、先进封装湿法设备等拓展顺利，未来随着晶圆厂的持续扩建和国产导入，业绩有望持续成长。我们预计公司 20222024 年营业收入 26.5/38.4/52.0 亿元，净利润 4.27/6.20/8.33 亿元，对应 EPS 为

6、0.98/1.43/1.92 元。由于高研发投入和销量收入作为成长的主要导向，半导体设备企业普遍采用 PS 估值，可比公司过去一年平均 PS 估值 20.2 倍，过去三年平均 PS 估值 21.6 倍。参考可比公司估值，给予盛美上海 2022 年 22 倍 PS，目标价 134 元，首次覆盖，给予“买入”评级。 项目项目/年度年度 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入(百万元) 1,007 1,621 2,650 3,838 5,197 营业收入增长率 YoY 33.1% 60.9% 63.5% 44.8% 35.4% 净利润(百万元) 197 266 427 62