拓荆科技-深度研究报告：半导体薄膜沉积设备龙头稀缺性凸显在手订单充沛开启加速成长期-220506（32页）.pdf

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1、 证 券 研 究 报证 券 研 究 报 告告 证监会审核华创证券投资咨询业务资格批文号：证监许可（2009）1210 号 公司研究公司研究 半导体设备半导体设备 2022 年年 05 月月 06 日日 拓荆科技（688072）深度研究报告 强推强推 （首次）（首次） 半导体薄膜沉积设备龙头稀缺性凸显， 在手订半导体薄膜沉积设备龙头稀缺性凸显， 在手订单充沛开启加速成长期单充沛开启加速成长期 目标价：目标价：178.1 元元 当前价：当前价：110.85 元元 公司是国内半导体薄膜沉积设备龙头，公司是国内半导体薄膜沉积设备龙头，饱满订单驱动业绩与盈利能力双增饱满订单驱动业绩与盈利能力双增。公司成

2、立于 2010 年，主要从事高端半导体专用设备 PECVD、ALD 和 SACVD的研发与销售。自 2011 年 10 月首台 12 英寸 PEVCD 出厂到中芯国际验证，公司陆续推出 PF-300T、PF-200T、HTM、ACHM 等型号丰富的 PECVD 设备系列生产线，并加速 ALD 和 SACVD 设备研发进程，持续提升竞争力。不断拓展新客户，至今已进入中芯国际、华虹集团、长江存储、厦门联芯、燕东微电子等国内领先集成电路制造企业产线， 打破国际龙头对国内市场垄断。产品广泛应用于上述晶圆厂 14nm 及以上制程集成电路制造产线，并已展开 10nm 及以下制程产品验证测试，截止 2022

3、 年 2 月，客户端累计流片量超过 5000万片，引领半导体薄膜沉积设备国产化浪潮。 行业高景气与国产替代行业高景气与国产替代趋势趋势共振，国内半导体设备厂商奋起直追共振，国内半导体设备厂商奋起直追。5G、新能源汽车、AIOT 领域的蓬勃发展开启全球新一轮半导体景气周期，晶圆厂积极扩产， 投资热情持续高涨， 带动半导体设备市场不断增长。 据 IC Insights 数据，全球半导体行业资本开支在 2021 年同比大涨 36%至 1536 亿美元，创历史新高， 2022 年有望继续增长 24%至 1904 亿美元。 同时近年来地缘政治格局紧张、新冠疫情不确定性等加剧半导体供应短缺， 国内供应链自

4、主可控需求急切， 以北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海等为代表的优质国产半导体设备厂商抓住历史机遇，积极配合下游晶圆厂验证导入，在细分领域实现突破，取得阶段性进展。 随着下游晶圆厂新一轮扩产， 国内设备厂商有望在成熟制程产线提高覆盖率，并在先进制程中崭露头角，于国产替代进程中不断提升话语权。 PECVD 设备放量增长，设备放量增长， ALD 和和 SACVD 业务蓄势待发业务蓄势待发。 根据行业资本开支数据进行测算，公司所处的 PECVD+ALD+SACVD 细分赛道，在中国市场已突破 100 亿元规模，空间广阔。公司 PECVD 设备已基本覆盖 28nm 及以上前道工艺各制程节点，14n

5、m 验证正在积极推进中，下游领域涉及逻辑、存储、先进封装， 是唯一实现半导体 PECVD 设备产业化的国产厂商， 2021 年该业务实现销售额 6.75 亿元，同比增长 61.49%，在手订单饱满，业务持续高增。公司ALD 设备处于国内领先地位，2021 年完成小批量出货，14nm 制程验证顺利，ALD 具有深沟槽、台阶覆盖率更高的薄膜沉积技术优势，未来将是公司推进先进制程战略重要的发展方向。SACVD 设备方面，公司亦是唯一一家实现产业化应用的国产厂商，2021 年完成第二台设备的销售，SACVD 有望成为公司新兴业务重要一极。 盈利预测、估值及投资评级盈利预测、估值及投资评级。全球半导体设

6、备市场持续高景气，公司显著受益于薄膜沉积设备需求增长；充分受益于国产替代机遇，截至 2021 年 9 月，公司在手订单超过 15 亿元（对应合同负债 4.45 亿元） ，2022 年一季度末合同负债 7.8 亿元（YoY+258%，QoQ+60%） ，采购及订单规模迅速扩大。我们预测2022-2024 年公司营业收入分别为 15.0/21.9/30.3 亿元， 结合公司所处百亿赛道市场空间、行业平均估值水平，以及更纯正的半导体业务结构，给予 2022 年15 倍 PS，对应目标价为 178.1 元，首次覆盖给予“强推”评级。 风险提示风险提示： 中美贸易摩擦加剧； 上游零部件供应短缺； 下游客