2022年中国半导体设备国产替代趋势及拓荆科技品类布局分析报告（33页）.pdf

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1、2022 年深度行业分析研究报告 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 2 目录 1 国产半导体薄膜沉积设备龙头，品类扩张持续 . 3 1.1 国产半导体薄膜沉积设备龙头，打破国外垄断 . 3 1.2 收入高速增长，产品毛利提高 . 4 1.3 公司无实控人，大基金为第一大股东 . 7 1.4 保持研发高投入，专利储备雄厚 . 8 1.5 高管团队经验丰富 . 9 2 景气度上行驱动半导体设备需求，国产替代进程提速 . 11 2.1 晶圆厂新建产能推升设备需求 . 11 2.2 薄膜设备种类繁多 . 14 2.3 市场需求持续增长 . 17 2.4 半导体设

2、备国产替代加速 . 19 3 稀缺性薄膜设备供应商，三大品类纵深发展 . 21 3.1 PECVD 设备：核心业务，独创性凸显 . 21 3.2 ALD 设备：聚焦先进制程需求. 22 3.3 SACVD 设备：国内独家量产 . 23 3.4 上下游供应链运营稳定 . 24 3.5 技术与研发构筑核心竞争力 . 27 4 募投分析 . 30 4.1 高端半导体设备扩产项目 . 30 4.2 先进半导体设备的技术研发与改进项目 . 30 4.3 ALD 设备研发与产业化项目 . 31 4.4 补充流动资金 . 31 插图目录 . 37 表格目录 . 37 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅

3、读最后一页免责声明 证券研究报告 37 插图目录 图 1：拓荆科技客户涵盖产业链多家龙头公司 . 3 图 2：拓荆科技的发展历程 . 4 图 3：2018-2021 年拓荆科技营收净利（百万元） . 5 图 4：2018-2021 年拓荆科技利润率水平 . 5 图 5：2018-2021 年拓荆科技管理、销售费用率水平 . 5 图 6：拓荆科技分业务营收情况（百万元） . 6 图 7：拓荆科技 PECVD 设备收入情况（百万元） . 6 图 8：拓荆科技存货结构（百万元） . 6 图 9：拓荆科技各项业务毛利率情况 . 7 图 10：发行前拓荆科技股权结构 . 8 图 11：2018-2021

4、 年拓荆科技研发投入（百万元） . 8 图 12：拓荆科技管理团队主要人员介绍 . 10 图 13：芯片制造流程. 11 图 14：集成电路前道制造工艺流程主要设备 . 12 图 15：全球半导体市场规模（十亿美元） . 12 图 16：全球半导体设备市场规模（亿美元） . 13 图 17：中国半导体设备市场规模（亿美元） . 13 图 18：PVD、CVD 及 ALD 成膜效果简示. 14 图 19：PECVD 设备. 15 图 20：PECVD 设备技术原理 . 15 图 21：SACVD 设备 . 15 图 22：SACVD 设备技术原理 . 15 图 23：PE-ALD 设备 . 16

5、 图 24：Thermal ALD 设备 . 16 图 25：ALD 设备技术原理 . 16 图 26：SADP 工艺流程图 . 16 图 27：薄膜沉积设备在芯片中的应用 . 17 图 28：半导体设备投资占比情况 . 17 图 29：全球半导体薄膜沉积设备市场规模（亿美元） . 18 图 30：2020 年各类薄膜沉积设备市场规模占比 . 18 图 31：2020 年全球 ALD 设备市场份额 . 19 图 32：2020 年全球 CVD 设备市场份额 . 19 图 33：2020 年全球 PVD 设备市场份额 . 19 图 34：2020-2021 年国产设备中标情况（台） . 20 图

6、 35：2021 年三大晶圆厂的设备中标情况（台） . 20 图 36：ALD 薄膜工艺应用 . 22 图 37：SACVD 薄膜工艺应用 . 24 图 38：公司产品在客户端应用情况. 26 图 39：拓荆科技生产线分布 . 26 图 40：拓荆科技前五大客户情况 . 27 图 41：拓荆科技研发投入及涉及领域情况（万元） . 28 图 42：政府直接补贴涉及领域情况（万元） . 29 表格目录 盈利预测与财务指标 . 1 表 1：拓荆 PECVD 设备单价及成本情况（万元） . 7 表 2：2020 年中国半导体设备企业销售收入前十名单位 . 20 表 3：PECVD 设备产业化应用情况