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1、20202020年中国年中国MEMSMEMS制造白皮书制造白皮书20202020年年1010月月2828日日苏州苏州第第1 1章章 MEMSMEMS概念界定及产品分类概念界定及产品分类MEMS及MEMS传感器的定义MEMS技术的特点及MEMS传感器的分类我国传感器产业的发展历程第第2 2章章 中国中国MEMSMEMS产业概况产业概况MEMS产业环境及相关政策MEMS产业链全景图MEMS产业现状分析第第3 3章章 中国中国MEMSMEMS市场概况市场概况中国MEMS市场规模中国MEMS市场结构第第4 4章章 中国中国MEMSMEMS制造情况制造情况 中国中国MEMS晶圆需求及产线分布 中国MEM

2、S制造指数第第5 5章章 行业龙头及资本市场动向行业龙头及资本市场动向全球MEMS行业龙头企业中国MEMS行业资本动向第第6 6章章 国内国内MEMSMEMS产业发展展望和建议产业发展展望和建议中国MEMS产业发展展望中国MEMS产业发展建议0303040506 070708091011111213141415161717181921212223目目 录录0220202020年中国年中国MEMSMEMS制造白皮书制造白皮书2020 China MEMS Manufacture White PaperMEMSMEMS产业概念界定产业概念界定及产品分类及产品分类第第1 1章章 MEMS是集微传感器

3、、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。受物联网、5G、人工智能等技术的推动，传感器向着MEMS化、智能化、网络化、集成化的方向加速发展。20202020年中国年中国MEMSMEMS制造白皮书制造白皮书2020 China MEMS Manufacture White Paper04MEMSMEMS及及MEMSMEMS传感器的定义传感器的定义 MEMSMEMS，MEMS全称Micro Electromechanical System，即微机电系统，是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电

4、源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统，是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。 MEMSMEMS传感器，传感器，是MEMS中的核心元件，它是一种将能量从一种形式转变成另一种形式，并针对特定可测量的输入为用户提供一种可用的能量输出的微型器件，它是采用微电子和微机械加工技术制造出来的。MEMSMEMS和和MEMSMEMS传感器的工作原理传感器的工作原理定义定义图图1. MEMS1. MEMS和和MEMSMEMS传感器的工作原理图传感器的工作原理图数据来源：顾问，2020.1020202020年

5、中国年中国MEMSMEMS制造白皮书制造白皮书2020 China MEMS Manufacture White PaperMEMSMEMS技术的特点及技术的特点及MEMSMEMS传感器的分类传感器的分类MEMSMEMS技术的特点技术的特点05 MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等，与传统机械系统相比具备许多优势。用MEMS工艺制造传感器、执行器或者微结构，具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生产等特点，产能高，良品率高，MEMS技术的出现极大地满足了市场对传感

6、器小体积、高性能的要求，正在逐渐取代传统机械传感器。MEMSMEMS传感器的分类传感器的分类 MEMS传感器的门类品种繁多，分类方法也很多。按其工作原理，可分为物理型、化学型和生物型三类。按照被测的量又可分为加速度、角速度、压力、位移、流量、电量、磁场、红外、温度、气体成分、湿度、pH值、离子浓度、生物浓度、触觉等类型的传感器。其中每种MEMS传感器又有多种细分方法。如微加速度计, 按检测质量的运动方式划分, 有角振动式和线振动式加速度计; 按检测质量支承方式划分, 有扭摆式、悬臂梁式和弹簧支承方式，按信号检测方式划分, 有电容式、电阻式和隧道电流式; 按控制方式划分, 有开环和闭环式。数据来