芯源微-国产涂胶显影设备龙头前道产品线全面突破-220120（39页）.pdf

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1、 敬请阅读末页的重要说明 证券研究报告 | 公司深度报告 2022 年 01 月 20 日 审慎推荐审慎推荐-A（首次）（首次） 国产国产涂胶显影设备龙头，涂胶显影设备龙头，前道前道产品产品线全面线全面突破突破 TMT 及中小盘/电子 当前股价：138.01 元 芯源微芯源微作作为国内涂胶显影设备龙头为国内涂胶显影设备龙头，在后道封装领域在后道封装领域国内市占率第一国内市占率第一，前道涂胶显前道涂胶显影实现全面突破，影实现全面突破，offline 实现量产，实现量产，I-Line 小批量产，小批量产，KrF/ArF/ArFi 验证或研发验证或研发顺顺利利，目前在手订单超目前在手订单超 13 亿

2、元，亿元，一半为前道一半为前道设备设备。公司目前产能无法满足在手订单，。公司目前产能无法满足在手订单，定增募资定增募资扩大产能扩大产能，我们认为公司，我们认为公司 2022/2023 年年收入有望收入有望维持高增长态势维持高增长态势。 芯源微芯源微最早由中科院最早由中科院沈阳自动化所沈阳自动化所孵化，为国内老牌涂胶显影设备龙头厂商孵化，为国内老牌涂胶显影设备龙头厂商。公司是中科院沈自所于 2002 年合资创建的老牌设备厂商，并连续多年承担国家 02重大专项项目。公司主要拥有涂胶显影（涂胶显影机、喷胶机）和单片湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机）两大产品线，面向台积电、上海华力、中芯国际、上海

3、积塔、华天科技、长电科技等国内外知名大客户。公司目前加速拓展前道领域产品，前道涂胶显影 offline 设备通过上海华力认证并实现量产，I-Line 实现小批量产，KrF/ArF 在长江存储、中芯绍兴、青岛芯恩等产线验证顺利，ArFi研发顺利；前道物理清洗机 Spin Scrubber 持续放量，化学清洗机加速研发。 2021 年以来公司营收增长同比大幅加速年以来公司营收增长同比大幅加速，在手订单，在手订单饱满饱满+定增定增扩张扩张产能产能+前道前道产产品放量品放量贡献未来成长动力。贡献未来成长动力。 2020 年之前公司产品以先进封装等后道为主， 营收增速较为平缓， 2021 年前三季度公司

4、共实现营收 5.47 亿元， 同比大幅增长 158.2%，主要系公司前道产品放量。展望展望 2022-2023 年，公司年，公司有望有望继续维持高增长态势继续维持高增长态势：在手订单在手订单饱满饱满：截至 21Q3 末，公司在手订单金额 13.31 亿元，较 2020 年底增长 73.4%，21Q3 前道/后道新签订单分别同比增长 222%/218%；定增定增扩张扩张产能：产能：飞云路厂区满载，现有产能无法满足在手订单，但公司积极扩产，彩云路一期厂区预计在2021年底至22H1投产， 上海临港和彩云路二期厂区预计在2023年前后投产；前道前道产品放量产品放量：21Q1 前道产品占验收比例近 5

5、0%，超越 2020年全年，2021 前三季度新签订单中前道设备占比近 50%，随着前道 offline/I-Line涂胶显影设备+前道物理刷片清洗机加速放量、KrF/ArF/ArFi 涂胶显影设备+前道化学清洗机在未来实现批量销售，前道产品有望持续放量并且占比将持续提升。 2021 年全球半导体设备增速创近年来历史新高，年全球半导体设备增速创近年来历史新高，2022-2023 年国内晶圆厂资本年国内晶圆厂资本开支有望进一步加速。开支有望进一步加速。自 2021 年全球产能紧张以来，全球晶圆厂进入加速扩产阶段，SEMI 预计 2021 年全球设备销售额同比增长 44.7%，预计 2022 年增

6、速为10.7%，设备增速指引有所放缓。但台积电 2022 年 Capex 指引为 400-440 亿美元，同比提升 33%-47%，除了扩产先进制程等，台积电积极在中国大陆、日本和中国台湾扩建 28nm 产能，因此 2022 年全球设备销售额同比增速后续有望进一步上修。中国大陆中芯国际京城/上海/深圳、华虹无锡等成熟制程产线，士兰微、华润微、 上海积塔、 闻泰等功率产线， 天岳先进等三代化合物产线均在 2022-2023年加速扩产，长存 Fab 2、长鑫 17nm 北京/合肥产线均在 2022-2023 年进入设备采购高峰期， 因此我们预计中国大陆 2022 年设备销售额同比 2021 年有望