和林微纳-MEMS精微零部件隐形冠军半导体测试探针后起之秀-211025（32页）.pdf

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编号：54395

2021-10-26

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声学 MEMS 或迎新一轮增长，压力与光学MEMS 拓展平行赛道MEMS 传感器应用领域广泛，核心零部件加工难度较高MEMS 传感器是使用最广泛的 MEMS 产品，包括惯性传感器、压力传感器、声学传感器、环境传感器以及光学传感器等多种传感器产品。MEMS(Micro Electro Mechanical System)简称微机电系统，是在芯片上把微机械和微电路集成于一体的系统，MEMS 产品主要可以分为 MEMS 传感器和 MEMS 执行器。MEMS 传感器是一种检测装置，能够将感受到的信息按一定规律变换成电信号或其他形式的信息输出，以满足系统对信息传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求，常见的 MEMS 传感器主要包括惯性传感器、压力传感器、声学传感器、环境传感器以及光学传感器等。MEMS 执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件，主要负责接收由传感器送来的电信号并将其转化为微动作或微操作，常见的 MEMS执行器包括光学 MEMS、射频 MEMS、微型扬声器等。MEMS 传感器已覆盖消费电子、汽车、工业、医疗、通信等诸多应用场景。MEMS 产品自 1970 年代开始商业化应用，起初主要集中在汽车领域。得益于以智能手机为代表的消费电子的发展红利，MEMS 传感器开始了大规模的商业化应用，典型应用场景包括MEMS 麦克风、压力传感器、光学传感器等。

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