金辰股份-HJT曙光已至PECVD打开第二成长曲线-210826（29页）.pdf

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1、HJT 具备多项优势，未来发展空间较大HJT 是一种 N 型单晶双面电池，具有工艺简单、发电量高、度电成本低的优势。制作工艺上，首先在 N 型单晶硅片(c-Si)的正面沉积很薄的本征非晶硅薄膜(i-aJ3-Si:H)和 p型非晶硅薄膜(p-a-Si:H)，然后在硅片的背面沉积很薄的本征非晶硅薄膜(i-a-Si:H)和 n型非晶硅薄膜(n-a-Si:H)形成背表面场;再在电池的两面沉积透明氧化物导电薄膜(TCO)， TCO 不仅可以减少收集电流时的串联电阻，还能起到像晶硅电池上氮化硅层那样的减反作用;最后在 TCO 上制作金属电极。降本、增效是光伏行业发展所遵循的两条原则，与主流的 PERC 电

2、池相比，HJT 具有工艺流程短、转换效率高、功率衰减低等优点，同时面临着成本较高的问题。工艺：HJT 电池工艺简单，仅需要经过清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、TCO 镀膜、丝网印刷四道工序，与其他电池技术工艺相比具有显著优势(PERC 电池需要 8-10 道工序)：清洗制绒：异质结及界面决定电池的最终特性，硅衬底作为异质结界面的一部分，其品质是决定电池性能的关键因素之一。因此需要制绒清洗工序优化电池的陷光性能，有效绒面结构可使入射光在表面进行多次反射和折射，形成洁净表面，减少硅片表面不洁净而引入的缺陷和杂质，从而降低结界面处载流子的复合损失。现今主要有两种清洗法：美国无线电公司推出的 RCA 清洗法

3、，以及臭氧清洗。针对两种清洗方法，虽然基于臭氧的清洗工艺成本较低，但 RCA 清洗工艺因性能更为稳定而被广泛推广。其进行控制。这一步骤十分关键，因为 pn 结是在表面形成的并且沉积层也决定了钝化的效果，因此这是决定 HJT 性能好坏的关键。TCO 膜沉积：在 HJT 工艺中沉积的后半部分涉及制备透明导电氧化层 TCO 薄膜，用作减反层以及横向输运载流子至电极的导电层。 TCO 薄膜的制备方法较多，包括各种物理气相沉积(PVD)，化学气相沉积(CVD)，喷射热分解法以及溶胶-凝胶法(Sol-Gel)，每种方法都有其各自的优缺点。目前行业中 TCO 薄膜通常应用溅射的方法在 PVD 设备中完成，或者运用 RPD 设备雾状成膜方式，通过能量源带上去。丝网印刷：丝网印刷的作用是制备电极，即与 PN 结两端形成欧姆接触，是目前行业内最常用的制备电极的方法，能与硅形成牢靠的欧姆接触，具有良好的导电性能，高电流收集效率等优点。但由于 HJT 电池不耐高温，所以本工艺采用银浆不同于常规产品，工艺中使用低温银浆印刷及低温固化，具体工艺流程包括背电极印刷、烘干、正电极印刷、烘干和低温固化。