2021年电力设备及新能源行业光伏电池分析报告（29页）.pdf

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1、从产线改造难度看，从 PERC 到 TOPCon 产线，主要增加几道工序：1)TOPCon增加了硼扩散工艺，通过硼磷管式扩散炉制备 P 型发射结和 N 型背面，在通过 PECVD 技术在正反表面制备钝化层和减反射膜;2)需要增加隧穿氧化制结、离子注入及退火清洗工艺，超薄氧化层可以使多子电子隧穿进入多晶硅层同时阻挡少子空穴复合，进而电子在多晶硅层横向传输被金属收集，从而提升电池转化效率。1) 方法一：本征+扩磷。LPCVD 制备多晶硅膜结合传统的全扩散工艺。此工艺成熟且耗时短，生产效率高，已实现规模化量产，但绕镀和成膜速度慢是目前最大的问题。该技术为目前TOPCon 厂商布局的主流路线，主要是晶

2、科能源和天合光能;2) 方法二：直接掺杂。LPCVD 制备多晶硅膜结合扩硼及离子注入磷工艺。离子注入技术是单面工艺，掺杂离子无需绕度，但扩硼工艺要比扩磷工艺难度大，需要更多的扩散炉和两倍的 LPCVD，投资成本高、良率更高，主要是隆基股份布局;3) 方法三：原位掺杂。PECVD 制备多晶硅膜并原位掺杂工艺。该方法沉积速度快，沉积温度低，还可以用 PECVD 制备多晶硅层，简化很多流程，实现大幅降本。但仍存在气体爆膜现象导致良率偏低，稳定性有待进一步观察，因此产业化进程较慢。根据 Solarzoom，目前拉普拉斯、捷佳伟创、金辰股份、无锡微导等国内设备厂商已经布局，后续有望受益于技术迭代。增效降

3、本加速量产，进一步打开设备市场空间三方面有助于 TOPCon 电池进一步降本。从 TOPCon 电池成本构成中来看，硅片、银浆及折旧成本分别占比 63%、16%及 4%。目前 TOPCon 的成本高于 PERC 电池25%-30%，成本下降有赖于以上三方面：1)硅片大尺寸和薄片化方向有助于硅片成本持续下降。TOPCon 电池硅片从 166mm 向 182mm 和 210mm 发展，尺寸厚度从目前的 170 m 持续减薄;2)银浆替代和用量下降推动成本下降。目前用量 150-180mg，预计未来背面用银铝浆替代会推动成本下降;3)目前 TOPCon 电池单 GW 设备投资额降至 2.5 亿元以内

4、，预计未来技术发展会带动设备价格及折旧成本下降。产业化进程加速，设备厂商受益明显。TOPCon 作为高效晶硅电池发展方向之一，实验室屡次创下新高，产业化效率也在进一步提升。目前的 TOPCon 电池技术方案并未完全定型，未来工艺流程进一步简化，并且随着设备技术成熟提升良率，银浆用量和替代带来成本降低，TOPCon 电池成本和市场竞争力将具备明显优势。目前隆基、晶科、天合及晶澳等企业纷纷布局 TOPCon 产能，2021 年量产产能有望达到 15GW。根据 CPIA 预测数据，到 2025 年，TOPCon 产能占比进一步提升至 16%。2019 年开始新扩建的 PERC 产线都有兼容 TOPC

5、on 升级空间，随着 TOPCon 产业化加速，新增产能和存量设备更新打开市场空间，龙头设备厂商将明显受益。 HJT：国产化降本空间大，有望成下一代主流技术HJT 电池优势显著，正处在产业爆发期HJT 电池技术经历 30 年的发展，目前正处在行业爆发期。自 1974 年 Walter Fuhs首次提出 a-Si 和晶体硅融合的 HJT 结构起，到 1989 年三洋获得专利，HJT 电池技术经历了较长时间的技术垄断，期间全球各个实验室在进行积极研发。直至 2010 年，三洋核心专利过期，技术垄断终于打破，国内外开启了 HJT 电池技术效率提升的工业化探索，并于2017 年开始进行 100MW 级的产业化试生产线建设。过去两年多家公司进入试生产线环节并加大 HJT 电池产业化的投资力度，HJT 电池技术迎来快速发展期。