【公司研究】汉钟精机-被低估的真空泵龙头增量和存量业务共振成长-210301（18页）.pdf

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1、真空泵业务进入快速成长阶段 真空泵指获得、改善、维持真空状态的一种装置，发挥抽真空功能，为各类工艺制程营造真空状态，广泛用于光伏、半导体、锂电池、医药化工等行业。近几年，真空泵增量市场主要体现在光伏和半导体领域。我们认为公司真空泵业务具有非常大的成长空间，市场对此理解还不够深入：短期看光伏单晶硅片和 PERC电池的扩产机遇，中期看 HJT扩产带来的量价齐升，长期看半导体真空泵的国产替代。光伏+半导体真空泵国内市场规模超 40 亿元，2020-2022 年，我们测算公司光伏+半导体真空泵市场份额有望从 16%提升到28%。 光伏真空泵：短期受益于硅片、电池片扩产，中期受益于

2、HJT 扩产带来的量价齐升 在光伏领域，目前真空泵主要用于硅片生产环节的单晶炉、PERC 电池片生产环节的管式 PECVD和 ALD（用于 PERC 电池镀减反射膜和钝化叠层）、HJT（异质结）电池生产环节的板式 PECVD和 PVD（用于镀非晶硅薄膜和 TCO薄膜）。在硅料和组件环节有少量运用，但相比硅片和电池片环节体量非常小。 1、硅片生产环节 目前 1GW 的光伏硅片产能大概需要 80-100 台真空主泵，同时还需要 10 台左右的副泵（型号和主泵一样）。平均而言，1GW 光伏硅片产能合计需要 100 台真空泵。 2020 年，受大硅片趋势的推动，

3、以及新玩家的涌入，国内硅片市场扩张潮流来临。据我们统计数据，主流光伏硅片企业 2020-2021年产能将分别扩张 90GW、110GW，而随着天合光能和通威合建产能（15GW）、高景太阳能（规划 50GW）的加入，产能扩张计划有望超预期，2022 年国内市场预计仍有 90GW 左右的扩产。 按照 2020-2022 年硅片产能分别扩张 90GW、110GW、90GW 测算，则 2020-2022 年，单晶炉所需要的真空泵数量分别为 9000台、11000台、9000台。真空泵单台价格为 8-10 万元，按照单台 8万元保守测算，则 2020-2022 年，光伏单晶炉新增真空泵的市场规

4、模将达到 7.20亿元、8.80亿元、 7.20 亿元。公司在光伏硅片真空泵市场份额领先，相关产品获得了晶盛机电、隆基等客户的认可，有望充分受益本轮硅片扩产带来的增量机会。 2、PERC电池生产环节 目前，1GW 的 PERC电池片产能需要 60台真空泵（用于管式 PECVD和 ALD）。我们预计 2020-2022年，PERC/PERC+/Topcon 电池扩产分别扩产 100GW、90GW、30GW，则所需要真空泵数量为6000 台、5400台、1800 台。真空泵单台价格为 8-10万元，按照单台 8万元保守测算，2020-2022年 PERC 电池生产线所需要的真空

5、泵市场规模分别为 4.80亿元、4.32亿元、1.44亿元。目前公司产品已经获得捷佳伟创、北方华创、无锡微导等众多电池片设备企业的批量订单，市场份额有望不断提升。 3、HJT 电池生产环节 异质结电池（HJT）被看做下一代主流光伏电池技术，目前处于蓄势待发阶段。2020年市场扩产约3GW，预计 2021-2022 年分别扩张 10GW、40GW。1GW 的 HJT电池需要约 70 台真空泵（用于板式 PECVD 和 PVD设备），HJT所用的真空泵对抽速要求更高，价格在 10-20 万元之间。按照单台 15 万元来测算，则 2020-2022 年，用于 HJT电池的真空泵市

6、场规模分别为 0.32 亿元、1.05 亿元、4.20 亿元。随着 HJT 迎来爆发期，用于 HJT 领域的真空泵有望进入量价齐升阶段。目前，公司正积极开拓 HJT设备客户，有望受益于HJT 大规模扩张的机遇。 光伏真空泵市场规模超过 10亿元，中期有望受益于 HJT大规模扩产浪潮。据我们测算，2020-2022年，用于光伏硅片和电池片生产的真空泵市场空间将达到 12.32亿元、14.17亿元、12.84亿元。2022年之后，随着 HJT 的大规模扩产，光伏真空泵市场仍有强劲的增长动力。 公司是国内光伏真空泵龙头，市场份额有望提升。针