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施耐德电气:2023半导体工厂的电能质量解决方案-电压暂降白皮书(14页).pdf

上传人: 一*** 编号:148693 2023-12-18 14页 8.59MB

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本文主要介绍了半导体工厂面临的电能质量问题——电压暂降,以及相应的解决方案。 1. 半导体工厂对电能质量要求极高,电压暂降会导致生产中断、材料报废,损失高达数百万美元。 2. 电压暂降对半导体行业的影响最大,每次事件损失约为723,729.00美元,远高于其他行业。 3. 电压暂降可能直接影响晶圆生产设备,如光刻机、化学机械抛光等,导致设备故障。 4. 应对电压暂降的方案包括配置电能质量监控系统、电压暂降治理等。动态电压补偿装置(DVR)和非间断电源(UPS)是常用的解决方案。 5. 选择解决方案时,应考虑电压暂降程度、发生阶段、产能规模、每次损失等因素,以实现最佳投资回报率。
半导体行业如何应对电压暂降问题? 电压暂降对半导体行业有哪些影响? 动态电压补偿装置DVR如何解决电压暂降问题?
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