2023射频电源市场规模、国外龙头及国产验证与替代进程分析报告（31页）.pdf

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1、2023 年深度行业分析研究报告 目目 录录 1、射频电源：半导体制程设备核心射频电源：半导体制程设备核心零零部件部件 .5 5 1.1、射频电源：功率放大器为核心模块，可产生高频交流变化电磁波.5 1.2、射频电源：等离子体化学性质存在差异，可用于多种晶圆制造工艺.7 1.2.1、射频电源在 PECVD 中的应用.8 1.2.2、射频电源在等离子体刻蚀中的应用.9 1.2.3、离子注入机关键构件离子源的可选零部件.11 1.2.4、射频电源在等离子清洗设备中的应用.12 1.3、射频电源技术壁垒较高，3D IC 对功率稳定一致要求更高.13 2、射频电源以美日德进口为主射频电源以美日德进口为

2、主 .1414 2.1、全球射频电源市场规模持续扩大.14 2.2、射频电源为半导体核心零部件.16 3、国际厂商处领先地位国际厂商处领先地位 .1717 3.1、MKS Instruments 万机仪器.17 3.2、Advanced Energy 优仪半导体.20 3.3、TRUMPF H ttinger 通快霍廷格.22 4、国产厂商紧步追赶国产厂商紧步追赶 .2424 4.1、英杰电气：高端射频电源验证加速.24 4.2、恒运昌：PECVD 用射频电源已实现批量供货.26 4.3、北方华创：收购北广科技射频应用技术相关资产.28 4.4、神州半导体：半导体产线电源系统服务厂商.28 4

3、.5、吉兆源：专注射频电源与自动匹配器研制生产.29 4.6、瀚强科技：A 轮融资获中芯聚源领投.29 4.7、华鑫晶造：特种电源后起之秀.30 图目录图目录 图 1：射频电源在泛半导体设备行业广泛应用.5 图 2：射频电源原理.6 图 3：射频电源功率转换过程.6 图 4：晶体管射频功率放大器发展历程.7 图 5：PECVD 内部结构.8 图 6：a 为各向同性化学刻蚀，b 为各向异性反应离子刻蚀.9 图 7：刻蚀设备的两个 RF 电源结构图.10 图 8：CCP 与 ICP 结构示意图.11 图 9：离子注入机结构.12 图 10：射频等离子清洗兼具物理清洗与化学清洗.13 图 11：稳定

4、的射频系统在刻蚀中的重要性.14 图 12：多个 RF 电源作用于一个电极.14 图 13：全球射频电源市场规模.14 图 14：2020 年中国晶圆厂商零部件采购金额产品结构.16 图 15：射频系统及等离子体源在核心原材料中采购额占比超 1/4.16 图 16：MKS 公司的半导体晶圆产业链.17 图 17：MKS 半导体晶圆设备与材料产品矩阵.18 图 18：MKS 自动化平台在晶圆加工中的应用.18 图 19：MKS 射频电源产品工艺先进，传输效率高.18 图 20：2018-2022 年 MKS 营业收入（亿美元）.19 图 21：2018-2022 年 MKS 毛利率与净利率.19

5、 图 22：MKS 收入构成（按产品，亿美元）.19 图 23：MKS 收入构成（按地区，亿美元）.19 图 24：AE 电源产品布局，射频电源处全球领先地位.20 图 25：AE 收入结构（按产品，百万美元）.20 图 26：AE 收入结构（按区域）.20 图 27：AE 毛利率与净利率水平.21 图 28：AE 电源产品具体应用领域.21 图 29：AE 电源产品在半导体制造中的全制造流程.21 图 30：AE 射频电源产品一览.22 图 31：通快霍廷格等离子体电源领域产线细分.23 图 32：通快 2020-2022 财年收入增长情况（亿欧元）.23 图 33：2015-2022 年英

6、杰电气营业收入、归母净利润及增速.25 图 34：2015-2022 年英杰电气毛利率及净利率（%）.25 图 35：2017-2022 年英杰电气光伏及半导体行业销售收入及增速.26 图 36：恒运昌代理的主要产品.27 图 37：吉兆源产品体系.29 图 38：华鑫晶造射频电源产品.31 表目录表目录 表 1：等离子体源的频率范围.7 表 2：电子管与晶体管射频电源性能比较.7 表 3：电子特气可运用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等环节.8 表 4：CCP 与 ICP 特点比较.10 表 5：CCP 与 ICP 等离子体差异.11 表 6：湿法清洗与干法清洗.12 表 7：全球半导体