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1、国产臭氧发生器领先者，半导体装备开创新纪元国产臭氧发生器领先者，半导体装备开创新纪元证券研究报告投资评级：（）报告日期：2023年10月19日买入首次n分析师：吕卓阳分析师：吕卓阳nSACSAC编号：编号：S1050523060001S1050523060001公司深度报告 （）公司深度报告）公司深度报告国林科技国林科技300786.SZ300786.SZ投 资 要 点投 资 要 点 国内臭氧发生器龙头公司，助力半导体产业链国产化。国内臭氧发生器龙头公司，助力半导体产业链国产化。臭氧发生器在半导体领域有两大应用，其中臭氧水发生装置主要用于半导体前道工艺环节的湿法清洗，臭氧气体发生装置可用于CV

2、D和ALD等薄膜沉积环节及部分干法清洗环节。当前我国半导体臭氧设备市场主要被美国MKS等外企垄断，由于半导体产业转移及产业安全等要求，未来高端设备不论是整机自研、零部件配套等领域实现国产自主可控乃是大势所趋。公司已实现半导体臭氧设备核心技术突破，生产的臭氧水机产生的臭氧水浓度可达80-150PPm，臭氧气体发生器产生的臭氧气体浓度可达200-300mg/L，均已取得相关专利，产品性能可对标海外龙头。目前产品正在客户端验证，验证结束后可立即投产量产，将有望加速半导体产业链的国产替代。高品质乙醛酸供需矛盾突出，公司臭氧制酸生产工艺成熟，具备量产条件。高品质乙醛酸供需矛盾突出，公司臭氧制酸生产工艺成

3、熟，具备量产条件。目前国内高品质乙醛酸产品基本依赖进口，国林科技专有乙醛酸制备方法“臭氧氧化顺酐法”，产品品质高、可产生副产品甲酸钾且转化效率基本达到100%。盈利预测：盈利预测：水务处理、废水治理、烟气脱硝领域等下游需求轮动，保障公司在传统领域的稳定发展；新兴领域拓展顺利，公司半导体臭氧清洗设备突破关键核心技术，有望实现设备国产替代，新疆高品质乙醛酸项目产能有序爬坡中，将带来显著业绩增长。预计2023-2025年的归母净利润分别为0.26、0.91、1.55亿元，EPS分别为0.14、0.50、0.84元，当前股价对应PE分别为126、37、22倍。首次覆盖，给与“买入”评级。诚信、专业、稳

4、健、高效请阅读最后一页重要免责声明2 23XhUlVjWaXmUqMrNmR6MdN8OpNrRnPnOfQpOmMiNsQpP8OoPqQvPsPzQwMmPnP3 3预 测 指 标预 测 指 标预测指标预测指标2022A2022A2023E2023E2024E2024E2025E2025E主营收入（百万元）2935248541,093增长率（%）-41.0%79.0%63.0%28.0%归母净利润（百万元）182691155增长率（%）-76.3%46.5%245.3%70.2%摊薄每股收益（元）0.100.140.500.84ROE（%）1.4%2.1%7.3%12.4%诚信、专业、稳健

5、、高效请阅读最后一页重要免责声明资料来源：Wind、华鑫证券研究所4 4风 险 提 示风 险 提 示诚信、专业、稳健、高效请阅读最后一页重要免责声明1 1、设备验证周期过长；、设备验证周期过长；2 2、中低端臭氧发生器竞争激烈；、中低端臭氧发生器竞争激烈；3 3、乙醛酸项目爬坡不及预期；、乙醛酸项目爬坡不及预期；目 录CONTENTS2.2.臭氧发生器行业龙头，传统业务稳步发展臭氧发生器行业龙头，传统业务稳步发展3.3.半导体半导体清洗及薄膜沉积清洗及薄膜沉积专用设备专用设备，国产替代国产替代加速中加速中1.1.专精特新小巨人，多元布局筑壁垒专精特新小巨人，多元布局筑壁垒5 5诚信、专业、稳健

6、、高效请阅读最后一页重要免责声明4.4.横向切入乙醛酸制备市场，产能逐步释放横向切入乙醛酸制备市场，产能逐步释放5.5.投资建议投资建议一、一、专精特新小巨人，多元布局筑壁垒7 7诚信、专业、稳健、高效请阅读最后一页重要免责声明 专精特新小巨人，业务持续拓展，向乙醛酸、半导体等领域延伸。专精特新小巨人，业务持续拓展，向乙醛酸、半导体等领域延伸。1994年国林科技成立，自主研制臭氧设备获得国家专利；2002年至2012年间，陆续成功研制国内首台3kg/h、50kg/h、120kg/h等多个中大型臭氧发生器，打破进口垄断局面，填补国内大型臭氧发生设备的制造空白；2015年公司登陆新三板，并于201