半导体&电子行业：薄膜沉积设备颇具市场活力国产化替代正当时-231011（41页）.pdf

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1、平安证券研究所电子信息团队平安证券研究所电子信息团队2023年年10月月11日日分析师：分析师：付强、徐勇、闫磊付强、徐勇、闫磊、徐碧云徐碧云证券研究报告证券研究报告薄膜沉积设备颇具市场活力，国产化替代正当时薄膜沉积设备颇具市场活力，国产化替代正当时行业评级：行业评级：半导体半导体 强于大市（维持）强于大市（维持）电子电子强于大市（维持）强于大市（维持）2投资建议投资建议国内半导体产业蓬勃发展国内半导体产业蓬勃发展，为半导体设备公司提供了广阔的平台市场为半导体设备公司提供了广阔的平台市场，薄膜沉积设备厂商深度受益薄膜沉积设备厂商深度受益。美国对华半导体制裁持续，先进制程受阻，中短期内，国内半导

2、体产业锁定成熟制程快速拓展，形成存量国产替代和产业增量拓展的双重推手，外部市场环境优越，国内半导体设备厂商迎来前所未有的机遇；远期看，先进制程快速发展，半导体工艺复杂度大幅提高，对半导体设备的市场需求也随之攀升，待国内先进制程取得突破后，对设备产业链将起到巨大的带动作用。薄膜沉积设备作为半导体制造三大核心设备之一，是后续几乎所有工艺的基础，重要性不言而喻，在目前优越的市场环境及政策支持下，产业链共同发力，需求端火热，供给端也在努力追赶、加速放量，叠加目前仍然较低的国产化水平，产业前景长期向好的趋势较为明确。PVDPVD、C CVDVD是薄膜沉积主流是薄膜沉积主流，ALDALD作为沉积设备新宠作

3、为沉积设备新宠，在先进制程中的应用越发凸显在先进制程中的应用越发凸显。PVD、CVD占据薄膜沉积赛道的半壁江山，半导体制造中绝大多数金属层、介质层及半导体层均为PVD、CVD设备制造；随着先进制程的不断发展，对膜厚精度、薄膜质量、台阶覆盖率等提出了更高的要求，HDPCVD、SACVD等技术应运而生，且ALD由于具备原子层级的膜厚控制能力，在先进制程的核心工艺（如SADP、HKMG等）中发挥关键作用，逐渐成为先进制程工艺平台的“新宠”。国内多家厂商在薄膜沉积设备领域均有涉猎国内多家厂商在薄膜沉积设备领域均有涉猎，侧重点有所差异侧重点有所差异，竞争格局较为良性竞争格局较为良性。北方华创是国内PVD

4、龙头，稀缺性较强，且在LPCVD、APCVD、ALD领域也有所布局，产品已经批量应用到半导体产线中；拓荆科技专注薄膜沉积设备，拥有PECVD、SACVD、ALD三大产品系列，公司处于快速上升阶段；微导纳米依靠ALD设备起家，在光伏、半导体中均有应用，且公司是国内首家成功将量产型High-k ALD应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司，在ALD领域颇具竞争优势。上述半导体设备厂商的产品结构有所不同，侧重点分化明显，形成了较为良性的差异化竞争格局。投资建议：投资建议：当前国内半导体产业扩张如火如荼，而海外对华半导体制裁持续加码，国内半导体设备厂商面对优越的市场环境和政策支持，前景

5、较为乐观；薄膜沉积设备作为半导体核心设备之一，在半导体制造中具有重要作用，在国产化替代、技术进步以及产业扩张带来的多重市场需求下，产业链共同发力，PVD、CVD、ALD等薄膜沉积设备赛道在未来较长时间内将持续火热，建议积极关注。风险提示：风险提示：（1）美国对华半导体制裁的风险。（2）国产化替代市场需求不及预期的风险。（3）国内公司技术突破不及预期的风险。XZlYmWiXdYnVnRsOqNaQbP7NnPnNoMsReRrQpPkPpOoNbRrRvNxNtPyRxNqMmNCONTENTCONTENT目录目录一、半导体产业结构复杂，上游设备是关键一、半导体产业结构复杂，上游设备是关键四、国

6、内厂商快速追赶，差异化竞争格局较为健康四、国内厂商快速追赶，差异化竞争格局较为健康三、薄膜沉积颇具活力，三、薄膜沉积颇具活力，CVD/PVD/ALDCVD/PVD/ALD各司其职各司其职二、设备市场环境优越，国产化替代正当时二、设备市场环境优越，国产化替代正当时五、投资建议与风险提示五、投资建议与风险提示41.1 半导体产业蓬勃发展，上游设备是基石半导体产业蓬勃发展，上游设备是基石数据来源：Wind，SEMI，华经产业研究院，平安证券研究所中国半导体产业销售额（亿美元）中国半导体产业销售额（亿美元）全球半导体设备销售占比全球半导体设备销售占比20222022（%）020040060080010