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1、敬请参阅末页重要声明及评级说明证券研究报告智能制造前瞻布局，把握MEMS传感器国产替代机遇证券研究报告证券研究报告华安机械华安机械 张帆张帆 S0010522070003S0010522070003 2023年7月19日 敬请参阅末页重要声明及评级说明证券研究报告华安证券研究所华安证券研究所核心观点核心观点 MEMS 传感器无处不在，从智能手机到汽车，从智能工厂到医疗设备，近四分之三的半导体传感器销售额来自利用MEMS技术制造的产品，MEMSMEMS器件现在已经占据全球传感器总出货量的器件现在已经占据全球传感器总出货量的5454%。重视工业级高精度重视工业级高精度MEMSMEMS传感器行业国产

2、化机遇传感器行业国产化机遇，目前国内高精度工业级MEMS传感器主要依赖于国外进口，MEMS压力传感器主要依赖于博世、泰科电子、英飞凌等国外厂商，MEMS惯性传感器主要依赖于美新半导体、博世、ST等国外厂商。重视重视MEMSMEMS传感器在机器人领域的无限潜力传感器在机器人领域的无限潜力，随着特斯拉确认人形机器人Optimus将于明年落地，智能机器人将具备计算机视觉、自然语言处理、动作规划和控制功能，并且拥有语音交互、行走和执行复杂任务等与物理世界互动能力，而实现一切感知的基础和核心就是传感器。根据同花顺传感器指数（885946.TI），成分股截至目前共有84家A股上市公司，但是缺少MEMS传感

3、器真正行业龙头，特别是高精度MEMS传感器。国产MEMS传感器的研发，主要问题是半导体工艺的改进、市场的拓展等，随着近几年地方政府的重视，各地MEMS中试线、量产线的投入建设，将有助于建立MEMS共性基础工艺生产体系，提升传感器企业MEMS工艺研发和迭代能力，推动中国MEMS传感器产业的快速发展。建议关注公司：建议关注公司：MEMS芯片-敏芯股份；ASIC芯片-纳芯微；压阻MEMS传感器国产突破-康斯特；惯性硅谐振MEMS传感器-芯动联科，以及明皜传感、高华科技、士兰微；CMOS图像传感器-长光辰芯。风险提示风险提示：政策变动风险，核电安全等相关政策的变动对于行业的影响巨大；相关半导体技术等核

4、心技术卡脖子的风险；原材料大幅波动的风险；测算市场空间的误差风险；研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。2OYdUmWkZlXdWFUdUgVaQcM6MmOpPnPmPkPoOsNjMoMqQ9PpPzRuOmQsMvPnRmO敬请参阅末页重要声明及评级说明证券研究报告目录目录1 乘风智能制造，乘风智能制造，MEMS传感器工艺逐渐成熟传感器工艺逐渐成熟2 夯实科技强国基础，夯实科技强国基础，MEMS传感器无处不在传感器无处不在3 着眼未来，重视着眼未来，重视MEMS传感器国产替代机遇传感器国产替代机遇4 建议关注公司建议关注公司5 风险提示风险提示敬请参阅末页重要声明及评

5、级说明证券研究报告01 乘风智能制造，乘风智能制造，MEMS传感器工艺逐渐成熟传感器工艺逐渐成熟敬请参阅末页重要声明及评级说明证券研究报告华安证券研究所华安证券研究所1.1 什么是什么是MEMS微机电系统微机电系统（MEMS,Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS是一个独立的智能系统

6、，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。例如，常见的常见的MEMSMEMS产品尺寸一般都产品尺寸一般都在在3 3mmmm3 3mmmm1 1.5 5mmmm，甚至更小甚至更小。一个MEMS传感器里面最重要的芯片为MEMS芯片和ASIC芯片，其中MEMS芯片负责感知信号，将测量量转化为电阻、电容等信号变化；ASIC芯片负责将电容、电阻等信号转换为电信号，其中涉及到信号的转换和放大等功能。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子微电子、材料材料、力学力学、化学化学、机械学机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的