环保行业深度报告：半导体配套治理刚需&高壁垒铸就价值设备国产替代&耗材突破高端制程！-230417（25页）.pdf

1、证券研究报告行业深度报告环保 东吴证券研究所东吴证券研究所 1/25 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 环保行业深度报告 半导体半导体配套配套治理：刚需治理：刚需&高壁垒铸就价值，设高壁垒铸就价值，设备国产替代备国产替代&耗材突破高端制程！耗材突破高端制程！2023 年年 04 月月 17 日日 证券分析师证券分析师 袁理袁理 执业证书：S0600511080001 021-60199782 证券分析师证券分析师 任逸轩任逸轩 执业证书：S0600522030002 研究助理研究助理 朱自尧朱自尧 执业证书：S0600121080040 行业走势行业走势 相关研

2、究相关研究 生态环境部原则通过全国生态质量监督监测工作方案，推进生态环境监测发展 2023-04-14 国家能源局印发 2023 年能源工作指导意见，积极推进清洁低碳转型 2023-04-13 增持（下调）Table_Tag Table_Summary 投资要点投资要点 与市场不同的观点：与市场不同的观点：为何推荐半导体配套治理？刚需刚需&高壁垒铸就价值！高壁垒铸就价值！半导体制作工序包括设计、制造、封装和测试等环节，制造过程对生产环境的洁净程度有较高要求；同时，制造过程产生的废水、废气、废渣也需要进行处理，由此带来半导体配套治理需求。1）半导体配套治理具半导体配套治理具体包括体包括：设备类：

3、设备类：洁净室过滤设备、臭氧发生设备、废气/废水/废渣治理设备；耗材类：耗材类：洁净室过滤器、电子特气。2）半导体治理具备刚需半导体治理具备刚需&高壁垒特点高壁垒特点：刚需：刚需：洁净室等级&废气治理水平直接关系到产品良直接关系到产品良率。率。高壁垒高壁垒：半导体行业洁净室等级&特气纯度要求更高、废气组分复杂处理难度更大、臭氧发生器对于臭氧的浓度&清洁度&自动化程度&稳定性要求高于传统领域，彰显技术壁垒；半导体配套治理与生产过程结合紧密，下游客户对生产稳定性十分注重，客户认证层面的高壁垒彰显价值。国产替代国产替代&耗材模式化耗材模式化&高端制程突破高端制程突破，半导体配套治理空间广阔，半导体配

4、套治理空间广阔。中国 IC 自给率仅 16.7%，举国体制发展保障国家、产业链安全。产业东移&国产替代加速，中国半导体资本开支依然强劲，我们预计 2021-2025 年中国大陆晶圆/面板产能复合增速 16.6%/8.0%。1）设备：国产设备技术突破，废气治理）设备：国产设备技术突破，废气治理&臭氧国产替代加速。臭氧国产替代加速。泛半导泛半导体废气治理：龙头引领体废气治理：龙头引领国产替代，国产化率快速提升市场释放国产替代，国产化率快速提升市场释放。我们测算2023 年国内废气治理/附属制程设备市场空间 29 亿元亿元/64 亿元亿元。梳理中国大陆核心供应商，测算 2021 年晶圆厂废气治理国产

5、化率约 24%，制程附属设备国产化率约 23%。行业已具备国产替代基础，国产化率有望快速提升，促行业翻倍成长。半导体臭氧：即将实现突破。半导体臭氧：即将实现突破。我们测算 2023年国内半导体臭氧设备市场空间约 54 亿元亿元，2021 年国产化率仅 10%，本土龙头公司已进入下游主机厂稳定性测试即将出货。2）耗材：盈利模式更优）耗材：盈利模式更优&突破高端制程，洁净室过滤器突破高端制程，洁净室过滤器&电子特气稳定增电子特气稳定增长。长。洁净室过滤设备：新建市场龙头地位稳固，耗材市场份额提升。洁净室过滤设备：新建市场龙头地位稳固，耗材市场份额提升。我们测算 2023 年国内泛半导体洁净室过滤设

6、备新建/耗材替代市场空间 22亿元亿元/48 亿元亿元，2021 年国内龙头公司美埃科技/悠远环境新建市场市占率32%/19%，已展现出较强竞争力。龙头公司于耗材替代市场市占率较低，测算 2021 年美埃科技耗材市场市占率约 6%。龙头发力耗材市场，有望复制新建市场竞争力。电子特气：晶圆制造第二大耗材，打开高端特气电子特气：晶圆制造第二大耗材，打开高端特气国产化局面。国产化局面。电子特气占晶圆制造材料成本 13%，2025 年我国市场规模501 亿元亿元。国家政策引导下不断发展创新，逐步打开高端特气国产化局面。投资建议。投资建议。重点推荐重点推荐【美埃科技】【美埃科技】国内电子半导体洁净室过滤