【华源证券】中科仪（920186）-专注真空装备技术，干式真空泵配套长鑫、长存等半导体本土领军者-260414（19页）.pdf

1、请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明证券研究报告证券研究报告电子电子|半导体半导体北交所北交所|新股申购新股申购hyzqdatemark证券分析师证券分析师赵昊SAC：S联系人联系人胡文瀚中科仪中科仪(920186.BJ)(920186.BJ)专注真空装备技术，干式真空泵配套长鑫、长存等半导体本土领军者投资要点：投资要点：中科仪本次发行采用网下询价中科仪本次发行采用网下询价，申购日为申购日为 20262026 年年 4 4 月月 2020 日日。公司本次发行数量为5200 万股，发行后总股本为 22384 万股，本次发行数量占发行后总股本的 23

2、.23%。经我们测算，公司发行后预计可流通股本比例为 45%，老股占可流通股本比例为48.38%。本次发行战略配售初始发行数量为 520 万股，占本次发行数量的 10.00%，相关领域产业资本（兆易创新、屹唐半导体）参与。中科仪此次募集资金将主要用于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目，其中干式真空泵产业化建设项目达产后达产后预计新增年产预计新增年产 2004020040 台干式真空泵的产能。台干式真空泵的产能。中科仪长期中科仪长期专注于真空科研仪器专注于真空科研仪器，20252025 年年归母净利润归母净利润 843878

3、4387 万元万元（yoy+3yoy+337.7737.77%）。公司专注真空装备这一“硬科技”领域，在洁净真空、超高真空领域形成了大量技术工艺积累，已形成干式真空泵和真空仪器设备两大业务板块干式真空泵和真空仪器设备两大业务板块，其中干式真空泵是目前半导体和泛半导体领域主流用泵，真空科学仪器设备产品包括用于薄膜制备的仪器设备（PVD、CVD）和用于重大科技基础设施的高能物理真空装置。公司客户主要为集成电路企业、光伏企业、科研院所等，2024 年度公司第一第一/二大客户分别为二大客户分别为长江存储长江存储/长鑫科技长鑫科技，此外公司近几年主要客户中还有北方华创、中芯国际、隆基绿能、鹏芯微、上海积

4、塔半导体等行业知名企业。20252025 年公司营收年公司营收 12.9112.91 亿元亿元（yoy+19%yoy+19%），归母净利润），归母净利润 84386.5484386.54 万元（万元（yoy+338%yoy+338%）。）。20242024 年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为 12.5712.57 万台，市场规模约万台，市场规模约 125.7125.74 4亿元。亿元。公司生产的干式真空泵属于通用设备，可广泛应用于传统硅基集成电路晶圆制造、化合物半导体晶圆制造、太阳能电池片制造、锂电池烘干、显示面板生产、生物制药、化工等多个产业。WST

5、S 预计 2026 年全球集成电路市场规模或增至 8743亿美元，较 2025 年大幅增长 28.97%；全球集成电路产业长期稳步增长，带动相关制造设备需求持续扩张，预计 2027 年晶圆厂设备销售额将达 1352 亿美元，较 2026年大幅增长 7.3%；20242024 年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为 12.5712.57 万台，万台，市场规模约市场规模约 125.74125.74 亿元。亿元。此外，IEA 数据显示 2030 年全球光伏新增装机容量在各种电源形式中的占比或将达到 70%，亦有望带动对真空泵需求。公司的可比公司为拓荆科技、华海清

6、科、北方华创和中微公司。申购建议申购建议：中科仪长期专注于真空技术及装备、干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，产品已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，并且是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业。截至2026/4/10，可比公司 PE TTM 中值为 78X，建议关注。风险提示风险提示：技术和产品研发风险技术和产品研发风险、市场竞争加剧的风险市场竞争加剧的风险、国际贸易摩擦的风险国际贸易摩擦的风险2 20 02 26 6 年年 0 04 4 月月 1 14 4 日日请务必仔细阅读