TOPCon设备行业深度报告：TOPCon大规模量产PECVD成为主流工艺-230208（31页）.pdf

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1、http:/ 年 02 月 08 日行业研究证券研究报告机械机械行业深度分析行业深度分析TOPCon 设备行业深度报告：设备行业深度报告：TOPCon 大规大规模量产，模量产，PECVD 成为主流工艺成为主流工艺投资要点投资要点 行业转型，行业转型，TOPCon 电池率先实现大规模量产：电池率先实现大规模量产：随着 PERC 电池量产效率逐渐接近其理论效率，行业开始转向 TOPCon/HJT 等 N 型电池。而 TOPCon 电池以其电池效率高、设备投资成本低、与 PERC 产线兼容性高等优点，率先实现大规模量产。据不完全统计，截止目前，TOPCon 已投产 69.75GW，规划待建产能近 4

2、74GW。TOPCon 存在工艺路线之争。存在工艺路线之争。TOPCon 电池与 PERC 电池核心差异在于，新增隧穿氧化层，以及掺杂多晶硅层。以多晶硅层制备方法，TOPCon 工艺路线分为 LPCVD/PECVD/PVD 路线。从工业应用角度看，掺杂多晶硅层制备方法，要求工艺简单、产能大；隧穿氧化层因其对电池整体性能影响十分关键，要求工艺制备的膜层致密度高、均匀性好。从技术角度看，从技术角度看，PECVD 法能实现法能实现 LPCVD 法同等制备效果，且清洗绕镀简法同等制备效果，且清洗绕镀简单，工艺精简、良率预期更高。单，工艺精简、良率预期更高。LPCVD 路线技术最成熟，但有严重绕镀、原位

3、掺杂难等问题。因绕镀，LPCVD 设备需增加一倍设备；PVD 路线，根据ISFH 研究观点，PVD 钝化效果略差。且实际运行中，维护频率高，开机率低；而 PECVD 路线轻微绕镀、且清洗容易，可原位掺杂、工艺精简，爆膜问题可通过电池背面微制绒解决。隧穿氧化层质量对电池效率影响至关重要。文献数据显示：从膜层密度角度看，PECVD 制备的氧化层密度（2.2g/cm3）要优于 LPCVD（2.15g/cm3）；从膜层均匀性角度看，PECVD 法制备的氧化层粗糙度 1.38nm，与 LPCVD 制备的氧化层粗糙度 1.36nm 相当。从经济性角度看，从经济性角度看，PECVD 路线设备投资成本低、产能

4、大、维护成本低、开机路线设备投资成本低、产能大、维护成本低、开机率高。率高。根据皇氏集团机构调研纪录表，（1）PE 路线比 LP 路线设备采购成本少；（2）PE 路线工艺时间短，单台设备产能大，设备机台数量少，省空间，设备好布局；（3）维护成本对比：LP 路线石英管寿命平均 56 天，石英舟寿命 60 天，石英件消耗 162 万/台/年，PE 路线石英管寿命 1-2 年，只有正常的石墨舟消耗，LP 设备的石英件消耗比 PE 设备费用预计多出 3530 万/年（5GW计）；（4）设备人员配置上，LP 路线估计是 PE 路线的一倍以上，每天在做维护换石英管，且设备利用率较低，更换石英管需要 3-4

5、 小时，期间整台设备需停机。因此，我们认为工艺稳定后，PECVD 成为 TOPCon 主流工艺，推动 TOPCon大规模量产。建议关注：光伏整线设备龙头捷佳伟创（公司推出 PE-Poly，即采用 PECVD 路线）、光伏激光设备龙头帝尔激光。风险提示：风险提示：光伏新增装机容量不及预期；市场竞争加剧风险；电池技术迭代对设备影响的风险；设备技术研发风险投资评级领先大市-B维持首选股票首选股票评级评级300776.SZ帝尔激光买入-B300724.SZ捷佳伟创买入-B一年行业表现一年行业表现资料来源：聚源升幅%1M3M12M机械相对收益4.7-6.6210.59机械绝对收益7.11.35-1.45

6、光伏设备相对收益-2.65-22.2135.5光伏设备绝对收益-0.26-14.2423.46分析师刘荆SAC 执业证书编号：S报告联系人何海霞相关报告相关报告光伏设备：关注光伏电池片环节，关注新技术变革带来设备机会-行业点评 2023.1.6光伏设备：关注光伏电池片环节，关注新技术变革带来设备机会-行业点评 2023.1.6 行业深度分析http:/ 电池到电池到 TOPCon 电池，道易且近电池，道易且近.4二、二、TOPCon 优势明显：电池效率高、温度系数低、光衰减小等优势明显：电池效率高、温度系数低、光衰减小等.6三、三、从技术角度看，从技术角度看，PECVD 有望从有望从 LP/P