振镜控制系统适用于高精度、高速度、小幅面微加工，伺服控制系统适用于大功率、大幅面切割加工。激光振镜控制系统与伺服控制系统运行机理不同，相关控制能力的体现及核心性能指标也存在较大差异。在速度方面，振镜控制系统最高运动速度可达到 3600米/分钟以上，而伺服控制系统的最高运动速度通常不超过 120 米/分钟。在精度方面，振镜控制系统的精度要求在 0.5μm-10μm 之间，而伺服控制系统的精度要求略低，一般在50μm 左右。