空气污染指数主要污染物

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1、不高于 1.4，新建数据中心PUE 限制在 1.3 以下；另外，北京、深圳等地也先后对辖区内 IDC 可建设区域、建设规模、等级、能耗指标等进行了详细的规定，数据中心绿色节能化是大势所趋。
据 IDC 发布2019 中国企业绿色计算与可持续发展研究报告，20122019 年，中国 PUE2.0 的企业从 34.6%下降至 2%，PUE1.5的企业从 3.7%上升到 12.9%，数据中心能源使用效率(PUE)值有明显改善，但仍有 85%的受访企业数据中心的 PUE 在 1.52.0 之间。
根据中国数据中心冷却技术年度发展研究报告，2016，数据中心中制冷设备能耗使用占比最大，占据数据中心总能耗的 40%，是降低能耗的关键，绿色节能化趋势为机房环境控制行业带来了新的市场节能改造。
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2、5 未达标地级及以上城市浓度比 2015 年下降 18%以上，地级及以上城市空气质量优良天数比率达到 80%，重度及以上污染天数比率较 2015 年下降 25%以上。
截至 2019 年，以 74 城市每日污染物排放均值为测算依据，SO2、颗粒物等指标完成度较高，氮氧化合物（NOx）尚未达到三年计划提出的指标，而氮氧化物的强氧化性是 PM2.5形成的重要原因之一，因此控制 NOx 排放成为治理大气污染重中之重。
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3、碱性废气、有机废气分别进入到对应的处理系统处理后排放，而工艺尾气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放。
工艺尾气产生于热氧化、CVD、光刻曝光、干法刻蚀、离子注入等工序，首先经过安装于半导体工厂生产设备侧的源头处理装置 L/S（local scrubber），处理集成电路生产制造过程中产生的有毒有害气体之后，再进入对应的处理系统处理后排放，带来废气治理系统及设备需求。
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