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1、品包括高纯氮气、高纯氢气等泛半导体行业工艺中作为载气使用的各种大宗气体。 电子气体的上游行业是气体分离及纯化设备制造业、基础化学原料行业、压力容器设备制造业等产业,下游主要用于泛半导体行业,如集成电路、半导体照明、功率器件、砷化镓太阳能电池、光纤等,与公司的 CAPEX 业务中电子工艺设备下游领域基本重合。 。
2、射层等 PECVD工艺需要用到 SiH4、NH3,蚀刻需要用到 CF薄膜太阳能电池在沉积透明导电膜工序中需要用到 B2H6等。 。
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