至纯科技：中国半导体清洗设备巨头高速成长气体等半导体服务业务空间广阔-220920(26页）.pdf

1、 敬请参阅最后一页特别声明-1-证券研究报告 2022 年 9 月 20 日 公司研究公司研究 中国半导体清洗设备中国半导体清洗设备巨头巨头高速成长高速成长，气体等半导体服务业务空间广阔，气体等半导体服务业务空间广阔 至纯科技（603690.SH）跟踪报告之六 买入买入（维持维持）至纯科技至纯科技是中国是中国半导体清洗设备巨头半导体清洗设备巨头企业。企业。公司主业包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技通过增资扩股引入战略投资者，目前战略投资者持有至微科技比例约 22%，增

2、资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司 2022H1 实现收入 11.2 亿元；实现扣非归母净利润 0.97 亿元，同比增长 128%。公司 2022 年目标新增订单 40 亿元，其中湿法设备订单 20 亿元以上（单片设备占比 60%），2022H1 公司新增订单 23.62 亿元，同比增长 37%。半导体湿法清洗设备半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期。业务步入高速成长期。至纯科技提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品等。目前至纯科技是国内能提供到

3、28nm节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。公司已陆续在 2022 年交付 4台 14nm 以下制程的设备。2022H1 至纯半导体制程设备新增订单 8.06 亿元，同比增长 87%；实现收入 4.66 亿元，同比增长 73%，毛利率提升 11.21pcts达 35.11%。我们预计 22-24 年该业务收入为 13.1、18.7、24.9 亿元。半导体半导体工艺支持设备有望快速工艺支持设备有望快速增长增长，长存大单彰显实力，长存大单彰显实力。公司该业务包括高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应

4、设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等。该类设备作为和氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积、研磨、清洗等工艺机台的工艺腔体连为一个工作系统的支持性设备，和工艺良率息息相关，相当于工厂的心血管系统。目前公司该业务客户包括中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士、三星、台积电、力晶等。2022 年 8 月，公司中标长江存储 2.76 亿元特殊气体系统包，主要供货各类工艺气体（含用于氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积等干法工艺）的特气设备。我们预计 22-24 年该业务收入为 12.5、15.0、18.0 亿元。半导体半导体服务业务空间广阔服务业务空间广阔。（1）半导体级大宗

5、气体整厂供气服务：公司建设国内首座完全国产化的 12 英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂，2022 年年初已顺利供气，该工厂将向先进制程客户持续供应电子级氢气、氮气、氧气。（2）晶圆再生及部件清洗服务：公司在合肥投产国内首条 12 英寸晶圆再生产线。盈利预测、估值与评级盈利预测、估值与评级。我们维持公司 2022-2024 年的归母净利润为 3.81、5.55、7.26 亿元，当前市值对应 PE 分别 35x、24x、18x，维持“买入”评级。风险提示：风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。公司盈利预测与估值简表公司盈利预测与估值简表 指标指标 20202020 2

6、0212021 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 营业收入（百万元）1,397 2,084 2,881 3,718 4,662 营业收入增长率 41.63%49.18%38.24%29.03%25.42%净利润（百万元）261 282 381 555 726 净利润增长率 136.36%8.12%35.36%45.48%30.77%EPS（元）0.85 0.88 1.19 1.74 2.27 ROE（归属母公司)（摊薄）8.29%6.93%8.58%11.09%12.67%P/E 49 47 35 24 18 P/B 4.0 3.2 3.0 2.6 2.3 资料