2025 CIOE Zeiss PTR Inline Coating Process control with optical spectroscopy CN.pdf

1、基于光学光谱的高精度在线镀膜工艺控制作者：王永斌/Yongbin Wang职位：Key Account Manager16 September 20252025|ZEISS Spectroscopy垂直整合的蔡司光谱技术组合216 September 2025ZEISS全息母版光栅复制技术计量光栅技术光谱仪开发技术工业集成技术/光谱仪系统针对特定应用场景具有内部参考校正具有真空环境适用部件可以测量颜色和镀膜厚度光谱仪设计公司内部加工光学和机械部件长期稳定，无需重新校准光谱仪及其测量系统紫外-可见-近红外范围16.September 2025ZEISS3OpticsOFR 160MCS700CL

2、H 711光谱在线工艺控制镀膜领域应用16 September 2025ZEISS4QCThinProcess Q横向质量控制R2RThinProcess WEB卷对卷镀膜S2SThinProcess P片对片水平S2SThinProcess R片对片垂直产品系列/应用场景9/16/2025ZEISS5ThinProcessQThinProcessP/RThinProcessCThinProcessWeb案例分享-OFR 160 非偏振与偏振观测角 60主要为汽车行业应用而开发升级（如前风挡，抬头显示等）基于OFR 155 升级观测角度并优化内部元件无需外部校准可以独立使用或结合横向扫描系统与

3、OFR 155搭配使用的横向扫描系统也可配备OFR 160可检测偏振光September 16,2025ZEISS6提供多种计算功能用于工艺控制颜色：Y,L*,a*,b*,C*,h 指定波长的反射率/透射率光谱极大/极小值的波长膜厚-FFT 快速傅里叶变换-SCOUT 光学薄膜建模分析与设计吸收测量结果自动存储于：CSV文件,SQL数据库与镀膜机上位机通讯及数据传输：OPC UATCP/IP socketProfibusProfinetOEM集成：OSIS SDK kit光学工艺控制系统数据处理与通讯接口16 September 2025ZEISS7ThinProcess在线工艺控制EXCELMS SQLserverFileserverOPCserverFieldbus interface用户自有软件CalculationInternal Data Buffer光学光谱高精度在线镀膜工艺控制主要应用领域ZEISS在线镀膜工艺监控工艺质量优化提高产量 提升质量 提高盈利能力颜色检测膜厚检测R/T/A建筑玻璃光伏汽车电池显示膜厚检测反射率测量颜色检测膜厚检测偏振光检测膜厚检测颜色检测膜厚检测偏振光检测精密光学膜厚检测偏振光检测吸光度测量节省人力成本欢迎莅临展位：3B53