【研报】电子行业深度：半导体设备国内需求增长国产替代进展提速-2020200630[40页].pdf

1、 证券研究报告 | 行业深度 2020 年 06 月 30 日 电子电子 半导体设备：半导体设备：国内国内需求需求增长增长，国产替代，国产替代进展进展提速提速 中芯国际回归中芯国际回归 A 股，国产晶圆制造崛起。股，国产晶圆制造崛起。中芯国际在国内芯片产业链地位 中占有举足轻重的地位。持续关注中国“芯”阵列核心标的，如晶圆代工、 封测、IP 授权及设计服务、设备材料等国产化机会。随着中芯国际即将于科 创板，A 股国产半导体家族将再得一名大将。随着当前国产半导体板块的日 渐完善，我们已经看到从 IP 授权及设计服务、设计、晶圆代工、封测、设 备、以及材料多领域的不同程度的国产化出现。 设备厂商国

2、产替代明显加速。全球半导体设备市场约设备厂商国产替代明显加速。全球半导体设备市场约 500600 亿美元，亿美元， 大陆占比持续提高。大陆占比持续提高。中微、北方华创在设备领域持续放量，武汉精鸿检测设 备落地、上海精测膜厚设备突破。根据长存 20H1 的订单，各品类出货量占 比程度看，刻蚀（中微 26%、北方华创 9%）、薄膜（北方华创 16%、沈 阳拓荆 5%）、清洗（盛美 19%）、热处理（北方华创 35%），国产替代 比率已经实现较大提升。 国内晶圆厂投资金额国内晶圆厂投资金额快速增长快速增长。中国半导体设备市场 2019 年四个季度投资 增速同比-11%/-11%/-14%/59%。

3、20Q1 预计继续保持高增速。 将根据统计， 20202022 年国内晶圆厂总投资金额约 1500/1400/1200 亿元， 其中内资晶 圆厂投资金额约 1000/1200/1100 亿元。 20202022 年国内晶圆厂投资额 将是历史上最高的三年，且未来还有新增项目的可能。 全球设备五强占市场主导角色。全球设备五强占市场主导角色。全球设备格局竞争，主要前道工艺（刻蚀、 沉积、涂胶、热处理、清洗等）整合成三强 AMAT、LAM、TEL。另外，光 刻机龙头 ASML 市占率 80%+；过程控制龙头 KLA 市占率 50%。ASML、 AMAT、LAM Research、TEL、KLA 五大厂

4、商 2019 年半导体设备收入合计 472 亿美元，占全球市场约 78%。 国内国产化逐渐起航，从国内国产化逐渐起航，从 0 到到 1 的过程基本完成。的过程基本完成。中微公司介质刻蚀机已 经打入 5nm 制程。北方华创硅刻蚀进入 SMIC 28nm 生产线量产。Mattson （屹唐半导体）在去胶设备市占率全球第二。盛美半导体单片清洗机在海力 士、长存、SMIC 等产线量产。沈阳拓荆 PECVD 打入 SMIC、华力微 28nm 生产线量产，2018 年 ALD 通过客户 14nm 工艺验证。精测电子、上海睿励 在测量领域突破国外垄断。 设备国产化率较低，海外龙头垄断性较高。设备国产化率较低

5、，海外龙头垄断性较高。中芯国际上市，长存、长鑫投建中芯国际上市，长存、长鑫投建 需求放量， 共同带动国内市场快速增长。需求放量， 共同带动国内市场快速增长。我国半导体设备市场仍非常依赖进我国半导体设备市场仍非常依赖进 口，国内厂商潜在收入口，国内厂商潜在收入目标目标空间较大。空间较大。 重点推荐：重点推荐：中微公司、北方华创、精测电子、长川科技、华峰测控、至纯科 技、万业企业；建议关注：建议关注：盛美半导体。 风险提示风险提示： 国产替代进展不及预期国产替代进展不及预期、 全球贸易纷争影响全球贸易纷争影响、 下游需求不确定性下游需求不确定性。 增持增持（维持维持） 行业行业走势走势 作者作者

6、分析师分析师 郑震湘郑震湘 执业证书编号：S0680518120002 邮箱： 分析师分析师 佘凌星佘凌星 执业证书编号：S0680520010001 邮箱： 研究助理研究助理 陈永亮陈永亮 邮箱： 相关研究相关研究 1、 电子：dTOF 迎来重大产业机遇2020-06-28 2、 电子： 中芯敲开科创板大门， 苹果链持续优于预期 2020-06-21 3、 电子：晶圆代工领军企业起航，产能增长、制程升 级双驱动2020-06-14 -16% 0% 16% 32% 48% 64% 80% 96% 2019-072019-102020-022020-06 电子沪深300 2020 年 06 月