【研报】机械设备行业：检测设备系列之一半导体缺陷检测谁有机会成为中国的科磊？-20200224[22页].pdf

1、 检测设备系列之一:半导体缺陷检测 谁有机会成为中国的科磊？ 主要观点主要观点: : 检测设备是大家关注但是在划分上通常并不清晰的一类设备。 我们接下来的一系列报告希望能够深度挖掘检测设备的技术内 核以及在不同行业中的不同应用。 半导体行业是首要分析的下游之一。大家口中的“半导体检测 设备”可以进一步具体分为：狭义的检测（主要是 Defect Inspection） 、测量（Metrology）以及测试（Test） 。除去这 三种工艺制程相关的“检测”设备外，在设计验证阶段还有第 三方检测公司，主要做芯片的失效分析等。 本篇主要讨论的是狭义上的“检测” 。 粗略估算，粗略估算，20202020

2、 年全球年全球前道狭义前道狭义检测设备检测设备约约 4040 亿亿 美金美金左右左右。通常半导体前道检测和测量设备会放在一起进行 讨论。根据 SEMI 数据，狭义检测+测量设备约占半导体设备投 资比例的 11%，据此，2020 年狭义检测+测量设备全球约 65 亿 美元，国内约 16 亿美元，其中狭义检测设备约占狭义检测+量 测设备 2/3 左右，即全球和国内分别约为 43、11 亿美元。 半导体检测设备市场格局：半导体检测设备市场格局：K KLALA 是全球绝对王者，是全球绝对王者， 占比过半。占比过半。2018 年 SEMI 数据讲前道的检测测量放在一起统 计，KLA 在前道的检测和测量市

3、场中占比过半、稳居行业第 一，堪称半导体检测设备领域王者，且在所有半导体设备企业 中排名第五；其次是应用材料和日立，二者市占率均超过 10%，前三市占率合计达到 75%。 国内检测设备国内检测设备格局：格局：国内半导体检测设备领域，相关 企业目前实行自主研发与并购并举的方式进行布局，在相当细 分领域已取得较大进展，国内重点布局企业有赛腾股份、上海 睿励、中科飞测等。 投资建议：投资建议：重点推荐赛腾股份重点推荐赛腾股份，公司 2019 年完成收购 日本 Optima 株式会社 67.53%股权，并拟增资提高至约 74.25% 股权，由此进入半导体晶圆检查设备领域。其他收益标的或公 司包括：上海

4、睿励（中微公司拟入股） 、上海睿励（中微公司拟入股） 、中科飞测等。中科飞测等。 风险提示风险提示：1）半导体设备行业波动；2）相关企业研发进度 低于预期。 评级及分析师信息 行业评级： 推荐 行业走势图 分析师：刘菁分析师：刘菁 邮箱： SAC NO：S1120519110001 分析师：俞能飞分析师：俞能飞 邮箱： SAC NO：S1120519120002 联系人：田仁秀联系人：田仁秀 邮箱： 联系人：李思扬联系人：李思扬 邮箱： 盈利预测与估值盈利预测与估值 重点公司 股票股票 股票股票 收盘价收盘价 投资投资 E EPS(PS(元元) ) P P/E/E 代码代码 名称名称 （元）（

5、元） 评级评级 20201818A A 2012019 9E E 20202020E E 20202121E E 20201818A A 2012019 9E E 20202020E E 20202121E E 603283 赛腾股份 54.78 买入 0.71 0.85 1.24 1.67 77.15 64.45 44.18 32.80 资料来源：资料来源：WindWind，华西证券研究所，华西证券研究所 0% 6% 11% 17% 22% 28% 2019/022019/052019/082019/112020/02 专用设备沪深300 证券研究报告|行业深度研究报告 仅供机构投资者使用

6、Table_Date 2020 年 02 月 24 日 70561 证券研究报告|行业深度研究报告 2 正文目录 1. 前道检测设备 vs 测量设备 vs 后道测试设备 . 4 1.1. 半导体检测设备的环节位置 . 4 1.2. 2020 年检测全球约 43 亿美元，国内约 11 亿美元 . 5 2. 国内企业自主研发与并购并举，立志解决卡脖子环节. 7 2.1. 赛腾股份收购日企 Optima 切入晶圆缺陷检测设备 . 7 2.2. 上海睿励/中微公司中微拟入股睿励，强强联合. 8 2.3. 中科飞测背靠中科院，强势崛起，已进入国内大厂 . 11 3. 附录：KLA检测王者，占比过半 .