【研报】电子行业半导体材料系列报告（3）：抛光液、垫CMP工艺关键耗材-20200424[22页].pdf

1、 table_main 行业深度模板 证券证券研究报告研究报告行业行业深度深度研究研究 半导体材料系列报告（半导体材料系列报告（3 3） 抛光抛光液液/ /垫垫：C CMPMP 工艺关键耗材工艺关键耗材 抛光液抛光液/垫是垫是 CMP 关键耗材关键耗材，对高精度晶圆制造至关重要，对高精度晶圆制造至关重要 化学机械抛光（CMP）是晶圆制造的关键步骤，其作用在于减少晶 圆表面的不平整，而抛光液、抛光垫是 CMP 技术的关键耗材，价值 量较高，分别占 CMP 耗材 49%和 33%的价值量，其品质直接影响 着抛光效果，因而对提高晶圆制造质量至关重要。抛光液/垫技术壁 垒较高，高品质的抛光液需要综合控

2、制磨料硬度、粒径、形状、各 成分质量浓度等要素， 而抛光垫则更加看重低缺陷率和长使用寿命。 随着制程不断迭代，未来抛光材料将往专用化和定制化方向发展。 产业整体向好结合技术迭代，产业整体向好结合技术迭代，抛光材料市场抛光材料市场稳健稳健增长增长 全球半导体产业规模巨大，且在不断增长，半导体材料作为半导体 行业发展的基础， 将伴随产业红利持续增长。 抛光液、 抛光垫是 CMP 工艺的重要耗材，约占抛光材料价值量的 80%，市场规模增长稳健。 同时，由于最新的技术需要更多次的 CMP 抛光操作，随着芯片制程 的不断提高，以及 3D NAND 技术的不断普及，技术迭代也将进一 步推动抛光材料需求增长

3、。2018 年全球抛光液、抛光垫市场规模合 计 20.1 亿美元，预计 2023 年将达到 28.4 亿美元，复合增长率 7%。 美美系系厂商垄断市场，替代需求愈加强烈，国产厂商迎来机遇厂商垄断市场，替代需求愈加强烈，国产厂商迎来机遇 目前全球抛光垫市场呈现一家独大的市场格局，陶氏化学占有绝对 主导地位，市占率高达 79%。抛光液市场同样以国外厂商为主，行 业龙头 Cabot 微电子市占率达 36%，但市场格局呈现分散化趋势。 随着半导体产业逐渐向中国大陆转移，国内半导体材料需求持续增 长，但国产供给缺口十分巨大，国产化率仅 10%，替代需求强烈。 随着需求的多样化和对品质要求的提高，未来抛光

4、材料将逐步向专 用化、定制化方向发展，这为立足国内市场的国产厂商提供了机遇。 国产厂商国产厂商已已实现抛光材料突破，未来增长可期实现抛光材料突破，未来增长可期 在抛光液领域， 安集微电子自成立以来便专注于抛光液研发与生产， 并快速取得市场突破，先后打入中芯国际、台积电等厂商供应体系， 成为国内抛光液龙头。公司保持高于行业的毛利水平，营收及利润 稳定增长。公司注重研发，曾负责国家“02 专项”，不断推出满足更 高要求的抛光液产品，并已实现 130-28nm 技术节点量产。在抛光垫 领域，鼎龙股份自 2013 年开始拓展抛光垫业务，凭借扎实的技术积 累及资本运作，于 2018 年在抛光垫领域取得突

5、破。此后产品陆续通 过国内各大 8 寸、12 寸晶圆厂验证，并取得订单。公司重视抛光垫 业务发展，持续加大研发和生产投入，抛光垫业务有望贡献新动能。 投资建议投资建议 半导体需求红利叠加产业转移，利好上游材料市场，同时技术迭代 推动抛光材料市场持续增长。国内巨大的供需缺口带来巨大的替代 空间和强烈的国产替代需求，利好国内抛光材料企业。建议关注安 集科技（688019.SH）、鼎龙股份（300054.SZ）。 风险提示风险提示 疫情影响致景气度不确定，技术创新不达预期，市场推广不达预期 维持维持 买入买入 雷鸣雷鸣 执业证书编号：S1440518030001 研究助理研究助理 刘双锋刘双锋 研究

6、助理研究助理 朱立文朱立文 13760275647 发布日期： 2020 年 04 月 24 日 市场表现市场表现 相关研究报告相关研究报告 20.04.24 【中信建投电子】半导体材料系列报告 （1）光刻胶：高精度光刻关键材料 20.04.24 【中信建投电子】半导体材料系列报告 （2）掩模版：电路图形光刻的底片 20.04.24 【中信建投电子】半导体材料系列报告 （3）抛光液/垫：CMP 工艺关键耗材 -19% 1% 21% 41% 61% 81% 2019/4/22 2019/5/22 2019/6/22 2019/7/22 2019/8/22 2019/9/22 2019/10/22