光伏行业系列报告（五十四）：PECVD有望规模应用相关供应商可能会显著受益-220707（16页）.pdf

1、 敬请阅读末页的重要说明 证券研究报告|行业点评报告 2022 年 07 月 07 日 推荐推荐（维持）（维持）PECVD 有望规模应用有望规模应用，相关供应商可能会显著受益，相关供应商可能会显著受益 中游制造/电力设备及新能源 TOPCon 电池基本由电池基本由 PERC 电池的基础架构升级而来，两者主要区别在钝化电池的基础架构升级而来，两者主要区别在钝化层制备，在层制备，在 TOPCon 几种制备钝化层技术路线上，几种制备钝化层技术路线上，主要有主要有 LPCVD、PECVD、PVD 等路线，其中，等路线，其中，PECVD 方案的方案的成膜速度快、节省能源、运营成膜速度快、节省能源、运营成

2、本相对较低，是预期差比较大的方向成本相对较低，是预期差比较大的方向。我们判断我们判断 PECVD 路线路线有望在下半年有望在下半年规模应用，相关设备公司有望显著受益规模应用，相关设备公司有望显著受益。TOPcon 与与 PERC 主要区别在于钝化层制备。主要区别在于钝化层制备。TOPCon 电池基本由 PERC电池的基础架构升级而来，两者在正面没有本质区别，主要差异在背面钝化接触技术，即在电池背面制备一层超薄隧穿氧化硅，之后沉积一层掺杂多晶硅形成钝化接触结构。除钝化层制备涉及不同设备之外，TOPCon 与 PERC其他环节设备变化不大。核心工序多种路线并行核心工序多种路线并行。TOPCon 电

3、池的制备的核心工序，即钝化接触制备，目前主要有三种技术路线：LPCVD（具体可细分为本征+磷扩、离子注入两种方式）、PECVD、PVD。其中 LPCVD 相对成熟；PECVD 以管式为主，这一技术路线依靠射频感应产生的等离子体实现薄膜沉积工艺，其成膜速度快、节省能源、运营成本相对较低；PVD 方案同样值得期待。目前目前准备钝化层的准备钝化层的技术路线以技术路线以 LPCVD 为主，为主，PECVD 预期差较大预期差较大。TOPCon 仍处在推广初期，因此在隧穿氧化层、多晶硅层的制备方面选择也比较多样，LPCVD 路线在解决绕镀问题后应用相对较多，但热壁沉积等问题会增加运维成本，PECVD 路线

4、目前应用进度不如 LPCVD，但潜力较大，具体使用何种工艺制备钝化层，需要看各企业对不同技术路线的掌握程度。相关供应商可能会显著受益于相关供应商可能会显著受益于 PECVD 路线放量。路线放量。继晶科能源、钧达股份等企业采用 LPCVD 率先推动 Topcon 大规模产业化发展后，我们判断 PECVD可能会在下半年有较大规模的应用。PECVD 与 LPCVD 目前设备造价基本在 1.6-1.9 亿元/GW 附近，其中 PECVD 路线设备总投资额约为 1.6-1.8 亿元/GW，主要差异在于背膜沉积设备价值量约为 3500-5000 万元/GW，约占整线设备价值量的 20-30%；其余设备价值

5、量与 LPCVD 路线基本相同，估算未来几年电池设备年均市场空间将超过 120 亿元，PECVD 路线放量可能会对相关供应商有比较显著的影响。推荐与推荐与关注关注：捷佳伟创（机械联合）、海目星（机械联合）、奥特维/帝尔激光（机械）、金辰股份（机械联合）、京山轻机（机械）、罗博特科（机械）。风险提示：风险提示：TOPCon 产业化进度不及预期产业化进度不及预期，PECVD 技术路线推广不及预技术路线推广不及预期期。重点公司主要财务指标重点公司主要财务指标（部分参照（部分参照 wind 一致预期）一致预期）股价股价 21EPS 22EPS 23EPS 22PE 23PE PB 评级评级 捷佳伟创

6、110.51 2.06 2.72 3.46 41 32 6 未有评级 海目星 79.97 0.55 1.75 3.72 46 21 10 强烈推荐 奥特维 302.73 3.76 5.59 7.8 54 39 20 未有评级 迈为股份 499.53 5.95 5.1 7.71 98 65 9 强烈推荐 帝尔激光 176.38 3.59 2.99 4.32 59 41 8 未有评级 金辰股份 92.60 0.52 1.23 1.84 75 50 8 未有评级 京山轻机 18.01 0.23 0.48 0.68 38 26 4 未有评级 罗博特科 47.43-0.43 0.84 1.44 56 3